[发明专利]基于过渡金属膜层的可见光宽带完美吸收器及制备方法在审
申请号: | 202110602203.8 | 申请日: | 2021-05-31 |
公开(公告)号: | CN113341488A | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 张程;李昊宇;艾帅;李孝峰;孙倜;王钦华 | 申请(专利权)人: | 苏州大学 |
主分类号: | G02B5/00 | 分类号: | G02B5/00 |
代理公司: | 苏州智品专利代理事务所(普通合伙) 32345 | 代理人: | 唐学青 |
地址: | 215104 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 过渡 金属膜 可见光 宽带 完美 吸收 制备 方法 | ||
1.基于过渡金属膜层的可见光宽带完美吸收器,其特征在于包括:基底,以及在基底上设置的平面多层结构;
平面多层结构自下而上依次配置:高反射金属膜层、透明电介质中间层、过渡金属膜层及透明电介质顶层;
所述的平面多层结构的等效光学导纳等于空气的光学导纳值。
2.根据权利要求1所述的基于过渡金属膜层的可见光宽带完美吸收器,其特征在于,
所述基底的材料为任意表面平整的硬性基底或柔性基底,
所述过渡金属膜层的厚度不超过10nm。
3.根据权利要求1所述的基于过渡金属膜层的可见光宽带完美吸收器,其特征在于:还包括:
粘附层,其介于高反射金属膜层与透明电介质中间层之间,所述粘附层材质包括:金属Ti。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的基于过渡金属膜层的可见光宽带完美吸收器,其特征在于,
所述高反射金属膜层的材质选自金、铬和铝中的至少一种,且厚度介于80~100nm。
5.根据权利要求1-3中任一项所述的基于过渡金属膜层的可见光宽带完美吸收器,其特征在于:
所述过渡金属膜层选自铬、钛及铂中的至少一种。
6.根据权利要求1所述的基于过渡金属膜层的可见光宽带完美吸收器,其特征在于:
所述透明电介质中间层和透明电介质顶层为透明电介质材料,其材质分别选自氟化镁和氧化硅中的一种。
7.根据权利要求1所述的基于过渡金属膜层的可见光宽带完美吸收器,其特征在于:
当入射光正入射基于过渡金属膜层的可见光宽带完美吸收器,在波长350~850nm处的平均吸收率99%。
8.根据权利要求7中所述的基于过渡金属膜层的可见光宽带完美吸收器,其特征在于:当入射光入射角度从0°上升至68°时,
在波长400~800nm处的平均吸收率90%。
9.一种如权利要求1所述的基于过渡金属膜层的可见光宽带完美吸收器的制备方法,其特征在于:
以平面多层结构的等效光学导纳等于空气的光学导纳值为优化目标,
利用文化基因算法来设计平面多层结构中各层的材料和厚度;
利用真空镀膜的方式,在基底表面沉积平面多层结构。
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