[发明专利]OCT测量装置以及OCT测量方法

说明书

本发明提供一种OCT测量装置以及OCT测量方法。OCT测量装置(1)具备：波长扫描光源(2)，发出波长被扫描的光；光干涉仪(9)，将光分割为测定光(18)和参照光(19)，生成表示将测定光(18)向被测定物(20)的被测定面(21)照射并由被测定面(21)反射的测定光(18)与参照光(19)的干涉的强度的光干涉强度信号；相位调制部(17)，被配置于光干涉仪(9)的光路中；信号生成部(3)，基于光干涉强度信号，导出被测定面(21)的位置，并且生成指示相位调制部(17)的相位量的相位量指示信号；和相位量控制部(6)，基于相位量指示信号，控制对透射相位调制部(17)的光赋予的相位量。

技术领域

本公开涉及OCT(Optical Coherence Tomography)测量装置以及OCT测量方法。

背景技术

在专利文献1中，公开了一种为了实现高品质且高精度的光干涉测量，实现使参照光路与测定光路的色散特性一致的所谓的色散补偿的技术。在专利文献1的光干涉断层装置中，从光源出射的光经由光纤耦合器而被分割为测定光路光纤侧的测定光和参照光路光纤侧的参照光。测定光路光纤侧的测定光经由扫描反光镜、扫描透镜以及物镜，到达被测定物。参照光路光纤侧的参照光经由第一色散补偿材料以及第二色散补偿材料，到达参照反光镜。被配置于参照光路的第一色散补偿材料以及第二色散补偿材料分别具有相反的波长色散特性。专利文献1的光干涉断层装置将第一色散补偿材料以及第二色散补偿材料分别设为规定的厚度并进行组合，从而实现被测定物的色散补偿。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-9734号公报

发明内容

本公开的一实施例所涉及的OCT测量装置具备：波长扫描光源，发出波长被扫描的光；光干涉仪，将所述光分割为测定光和参照光，生成表示将所述测定光向被测定物的被测定面照射并由所述被测定面反射的所述测定光与所述参照光的干涉的强度的光干涉强度信号；相位调制部，被配置于所述光干涉仪的光路中；信号生成部，基于所述光干涉强度信号，导出所述被测定面的位置，并且生成指示所述相位调制部的相位量的相位量指示信号；和相位量控制部，基于所述相位量指示信号，控制对透射所述相位调制部的光赋予的相位量。

本公开的一实施例所涉及的OCT测量方法包含：在被配置于生成表示与参照光的干涉的强度的光干涉强度信号的光干涉仪的光路中的相位调制部基于规定的补偿电压控制信号来对所述光路中透射的光赋予相位的状态下，检测表示向被测定物的被测定面照射并由所述被测定面反射的测定光与所述参照光的干涉的强度的光干涉强度信号，基于该光干涉强度信号，计算表示从发出波长被扫描的光的波长扫描光源发出的光的波数中的瞬间相位值的瞬时相位变化数据的步骤；计算在所述瞬时相位变化数据的前端数据中的前端部波数与所述瞬时相位变化数据的末尾数据中的末尾部波数的区间，从所述前端数据的瞬时相位值到所述末尾数据的瞬时相位值线性地变化的线性瞬时相位变化数据的步骤；通过获取所述瞬时相位变化数据与所述线性瞬时相位变化数据的差分，计算相位补偿数据的步骤；基于所述相位补偿数据、所述相位调制部以及控制对透射所述相位调制部的光赋予的相位量的相位量控制部中设定的、控制相位调制量的相位调制控制系数，计算补偿电压控制信号的步骤；将所述补偿电压控制信号保存于控制装置的步骤；与从所述波长扫描光源发出的所述光的波长扫描定时一致地，根据基于所述补偿电压控制信号而从所述控制装置输出的所述补偿电压控制信号，所述相位调制部对所述光路中透射的光赋予相位的步骤；和基于该光干涉强度信号，导出所述被测定面的位置的步骤。

附图说明

图1是表示本公开的实施方式中的OCT测量装置1的结构例的图。

图2是表示从波长扫描光源2发出的光的波数相对于扫描时间为线性的情况下，OCT测量装置1进行OCT测量的动作定时、OCT测量装置1获取的数据等的图。