[发明专利]OCT测量装置以及OCT测量方法

权利要求书

1.一种OCT测量装置，具备：

波长扫描光源，发出波长被扫描的光；

光干涉仪，将所述光分割为测定光和参照光，生成表示将所述测定光向被测定物的被测定面照射并由所述被测定面反射的所述测定光与所述参照光的干涉的强度的光干涉强度信号；

相位调制部，被配置于所述光干涉仪的光路中；

信号生成部，基于所述光干涉强度信号，导出所述被测定面的位置，并且生成对所述相位调制部的相位量进行指示的相位量指示信号；和

相位量控制部，基于所述相位量指示信号，控制对透射所述相位调制部的光赋予的相位量。

2.根据权利要求1所述的OCT测量装置，其中，

所述相位调制部是电光元件。

3.根据权利要求1或者2所述的OCT测量装置，其中，

所述相位调制部被配置于所述参照光透射的参照光路。

4.一种OCT测量方法，包含：

在被配置于生成表示与参照光的干涉的强度的光干涉强度信号的光干涉仪的光路中的相位调制部基于规定的补偿电压控制信号来对所述光路中透射的光赋予相位的状态下，检测表示向被测定物的被测定面照射并由所述被测定面反射的测定光与所述参照光的干涉的强度的光干涉强度信号，基于该光干涉强度信号，计算表示从发出波长被扫描的光的波长扫描光源发出的光的波数中的瞬间相位值的瞬时相位变化数据的步骤；

计算在所述瞬时相位变化数据的前端数据中的前端部波数与所述瞬时相位变化数据的末尾数据中的末尾部波数的区间，从所述前端数据的瞬时相位值到所述末尾数据的瞬时相位值线性地变化的线性瞬时相位变化数据的步骤；

通过获取所述瞬时相位变化数据与所述线性瞬时相位变化数据的差分，计算相位补偿数据的步骤；

基于所述相位补偿数据、所述相位调制部以及控制对透射所述相位调制部的光赋予的相位量的相位量控制部中被设定的控制相位调制量的相位调制控制系数，计算补偿电压控制信号的步骤；

将所述补偿电压控制信号保存于控制装置的步骤；

与从所述波长扫描光源发出的所述光的波长扫描定时相匹配地，根据基于所述补偿电压控制信号而从所述控制装置输出的所述补偿电压控制信号，所述相位调制部对所述光路中透射的光赋予相位的步骤；和

基于该光干涉强度信号，导出所述被测定面的位置的步骤。

5.根据权利要求4所述的OCT测量方法，其中，

在计算所述瞬时相位变化数据的步骤中，获取多次所述光干涉强度信号，基于各个所述光干涉强度信号来计算所述瞬时相位变化数据，将多个所述瞬时相位变化数据平均化得到的数据重新用作所述瞬时相位变化数据。

6.根据权利要求5所述的OCT测量方法，其中，

在对所述光路中透射的光赋予相位的步骤中，被赋予相位的所述光路中透射的光是所述参照光。

7.根据权利要求6所述的OCT测量方法，其中，

在计算所述补偿电压控制信号的步骤中，在计算至少一次以上所述补偿电压控制信号之后，实施使用所述补偿电压控制信号来对所述光路中透射的光赋予相位的步骤，并且计算新的补偿电压控制信号并更新所述补偿电压控制信号。

8.根据权利要求4至7的任一项所述的OCT测量方法，其中，

所述相位调制部是电光元件。