[发明专利]降低金属杂质的单晶PERC电池的制作方法和电池在审
申请号: | 202110582964.1 | 申请日: | 2021-05-27 |
公开(公告)号: | CN113380923A | 公开(公告)日: | 2021-09-10 |
发明(设计)人: | 刘丹丹;林纲正;陈刚 | 申请(专利权)人: | 广东爱旭科技有限公司;浙江爱旭太阳能科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0216;H01L31/0236 |
代理公司: | 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 | 代理人: | 贾振勇 |
地址: | 528000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 降低 金属 杂质 perc 电池 制作方法 | ||
本申请适用于太阳能电池技术领域,提供了一种降低金属杂质的单晶PERC电池的制作方法和电池。降低金属杂质的单晶PERC电池的制作方法包括:对硅片进行磷吸杂,以吸收硅片内部的金属杂质;利用酸溶液对磷扩散后的硅片进行清洗;对酸洗后的硅片进行制绒;对制绒后的硅片进行制绒后处理,以制成单晶PERC电池。如此,在制绒前对硅片进行磷吸杂和酸洗,可以吸收硅片内部的金属杂质,防止金属杂质进入硅片内部发生复合反应造成效率衰减,有利于提高单晶PERC电池的转换效率。
技术领域
本申请属于太阳能电池技术领域,尤其涉及一种降低金属杂质的单晶PERC电池的制作方法和电池。
背景技术
相关技术中,太阳能电池所用的硅材料的纯度极高,但是在单晶硅中仍存在很多金属杂质和缺陷。这些杂质在带隙中形成复合中心,导致少数载流子的寿命降低,从而导致太阳能电池的光电转换效率较低。基于此,如何降低太阳能电池中的金属杂质,成为了亟待解决的问题。
发明内容
本申请提供一种降低金属杂质的单晶PERC电池的制作方法和电池,旨在解决如何降低太阳能电池中的金属杂质的问题。
第一方面,本申请提供的降低金属杂质的单晶PERC电池的制作方法,包括:
对硅片进行磷吸杂,以吸收所述硅片内部的金属杂质;
利用酸溶液对磷扩散后的所述硅片进行清洗;
对酸洗后的所述硅片进行制绒;
对制绒后的所述硅片进行制绒后处理,以制成单晶PERC电池。
可选地,在所述对硅片进行磷吸杂以吸收所述硅片内部的金属杂质的步骤中,扩散温度的范围为850℃-950℃。
可选地,在所述对硅片进行磷吸杂以吸收所述硅片内部的金属杂质的步骤中,扩散时间的范围为60min-180min。
可选地,在所述对硅片进行磷吸杂以吸收所述硅片内部的金属杂质的步骤中,掺杂方阻的范围为40Ω/□-60Ω/□。
可选地,所述利用酸溶液对磷扩散后的所述硅片进行清洗的步骤,包括:
利用HF溶液和/或HCL溶液对磷扩散后的所述硅片进行清洗。
可选地,在所述利用酸溶液对磷扩散后的所述硅片进行清洗的步骤中,所述硅片的反射率的范围为36.5%-41.5%。
可选地,在所述对硅片进行磷吸杂以吸收所述硅片内部的金属杂质的步骤前,所述制作方法包括:
对所述硅片进行粗抛清洗。
可选地,所述对所述硅片进行粗抛清洗的步骤,包括:
利用碱溶液对所述硅片进行粗抛清洗。
可选地,在所述对酸洗后的所述硅片进行制绒的步骤中,所述硅片的绒面呈金字塔状,所述绒面的高度的范围为0.9μm-1.1μm。
第二方面,本申请提供的单晶PERC电池采用上述任一项的方法制作得到。
本申请实施例的降低金属杂质的单晶PERC电池的制作方法和电池中,在制绒前对硅片进行磷吸杂和酸洗,可以吸收硅片内部的金属杂质,防止金属杂质进入硅片内部发生复合反应造成效率衰减,有利于提高单晶PERC电池的转换效率。
附图说明
图1是本申请实施例的降低金属杂质的单晶PERC电池的制作方法的流程示意图;
图2是本申请实施例的降低金属杂质的单晶PERC电池的制作方法的流程示意图;
图3是本申请实施例的降低金属杂质的单晶PERC电池的制作方法的流程示意图;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的