[发明专利]一种快速精确测量叉指换能器指条数量的方法及系统

说明书

本发明涉及一种快速精确测量叉指换能器指条数量的方法及系统，其方法包括：S1、输入叉指换能器图像；S2、对叉指换能器图像进行预处理，若为正常图像，则进入S3，否则进入S4；S3、进行叉指换能器指条数量识别，利用形态学连通算法，标记连通分量，通过图像矩阵，包围共同像素点并获取标号，获取叉指换能器数量；S4、利用形态学膨胀算法处理问题图像中的黑点，利用形态学腐蚀算法，恢复宽度大小，利用形态学连通算法，标记连通分量，通过图像矩阵，包围其共同像素点并获取标号，获取叉指换能器数量。本发明通过利用形态学算法，解决了叉指换能器问题图像中的黑点问题并计算指条数量，实现了不同显微镜叉指换能器图像指条数量的计算。

技术领域

本发明涉及叉指换能器技术领域，尤其涉及一种快速精确测量叉指换能器指条数量的方法及系统。

背景技术

在声表滤波器晶圆的加工中，叉指换能器IDT的各种参数会严重影响最终的性能，必须在加工过程中对这些参数进行精确地量测。其中，叉指换能器的数量是影响器件工作频率的最主要因素。目前的较常见的测量方法是通过各种高精度的显微镜拍摄叉指换能器图像，再通过人工计数得到叉指换能器指条数，其在高倍下图像清晰且大小适中，却无法容纳整个叉指换能器结构，需要进行图像拼接；而在低倍下图像聚集且可全部显示，却像素低下，模糊不清。此种方法极大的浪费人力物力，且通常因为图像条数过多、人眼劳累等原因，对于叉指换能器指条数量计算会产生较大的误差。通过一些分析软件绘制一条在垂直方向覆盖所有指条的测量线，利用分析软件计算明暗变化获取数量，准确率较高，却仍需要做辅助线。

因此，需要寻找一种快速、准确的方法用于测量叉指换能器指条的数量。

发明内容

为解决现有技术所存在的技术问题，本发明提供一种快速精确测量叉指换能器指条数量的方法及系统，通过利用形态学算法，有效解决了叉指换能器问题图像中的黑点问题并计算指条数量，实现了不同显微镜叉指换能器图像指条数量的计算。

本发明方法采用以下技术方案来实现：一种快速精确测量叉指换能器指条数量的方法，主要包括以下步骤：

S1、输入叉指换能器光学显微镜或电子显微镜图像；

S2、对叉指换能器图像进行预处理，若叉指换能器图像为正常图像，则进入步骤S3，若为问题图像，则进入步骤S4；

S3、进行叉指换能器指条数量识别，通过利用形态学连通算法，从左到右开始计数，利用红框标记连通分量，通过图像矩阵0与1，以矩形包围其共同像素点，通过测量获取叉指换能器的相同像素点标号，获取叉指换能器数量；

S4、利用形态学膨胀算法处理问题图像中的黑点，利用形态学腐蚀算法，恢复其宽度大小，再利用形态学连通算法，从左到右开始计数，利用红框标记连通分量，通过图像矩阵0与1，以矩形包围其共同像素点，通过测量获取叉指换能器的相同像素点标号，获取叉指换能器数量。

本发明系统采用以下技术方案来实现：一种快速精确测量叉指换能器指条数量的系统，包括：

叉指换能器图像输入模块，用于输入叉指换能器光学显微镜或电子显微镜图像；

叉指换能器图像预处理模块，用于对叉指换能器图像进行预处理，判断叉指换能器图像为正常图像或问题图像；

叉指换能器正常图像指条数量识别模块，用于进行叉指换能器指条数量识别，通过利用形态学连通算法，从左到右开始计数，利用红框标记连通分量，通过图像矩阵0与1，以矩形包围其共同像素点，通过测量获取叉指换能器的相同像素点标号，获取叉指换能器数量；

叉指换能器问题图像指条数量识别模块，通过利用形态学膨胀算法处理问题图像中的黑点，利用形态学腐蚀算法，恢复其宽度大小，再利用形态学连通算法，从左到右开始计数，利用红框标记连通分量，通过图像矩阵0与1，以矩形包围其共同像素点，通过测量获取叉指换能器的相同像素点标号，获取叉指换能器数量。