[发明专利]一种晶圆对中装置

说明书

本发明公开了一种晶圆对中装置，所述晶圆对中装置包括：夹持组件，包括相对设置的第一夹持件和第二夹持件；第一推动件，连接所述第一夹持件，能够推动所述第一夹持件靠近或远离所述第二夹持件；带轮组件，设有同步带以及与所述同步带啮合的带轮，所述同步带与所述第一夹持件和所述第二夹持件啮合，带动所述第二夹持件与所述第一夹持件同时靠拢或分开；其中，所述同步带设有柔性组件，所述柔性组件包括：至少一个柔性件以及连接所述柔性件的拉块；所述第二夹持件包括：第二夹持件本体以及连接所述第二夹持件本体的柔性件连接板，所述柔性件连接所述柔性件连接板。本发明解决了晶圆对中装置在夹持晶圆时容易损坏晶圆的问题。

技术领域

本发明涉及半导体行业晶片领域，尤其涉及一种晶圆对中装置。

背景技术

在晶圆的制造、清洗、收纳等工序中，需要将晶圆装入片盒。但是，机械手无法准确夹在晶圆的中心位置，导致晶圆偏移至机械手的一侧，在晶圆放入片盒或其他装置的过程中容易碰撞损坏。目前，主要采用晶圆对中装置确定晶圆的中心，以便于机械手的夹持。

目前晶圆对中结构主要通过气缸实现夹持动作，来确定晶圆的中心位置。但是该夹持机构没有柔性保护结构，容易把晶圆夹碎；而夹持过程中，在夹持机构和晶圆之间留有间隙以防止损坏晶圆，又会造成对中误差；并且气缸的导向作用较弱，在夹持大尺寸晶圆的时候，夹持组件容易晃动。

发明内容

因此，本发明实施例提供一种晶圆对中装置，解决了晶圆对中装置在夹持晶圆时容易损坏晶圆的问题。

本发明实施例提供一种晶圆对中装置，包括：夹持组件，包括相对设置的第一夹持件和第二夹持件；第一推动件，连接所述第一夹持件，能够推动所述第一夹持件靠近或远离所述第二夹持件；带轮组件，设有同步带以及与所述同步带啮合的带轮，所述同步带与所述第一夹持件和所述第二夹持件分别啮合，带动所述第二夹持件与所述第一夹持件同时靠拢或分开；其中，所述同步带设有柔性组件。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第一夹持件和所述第二夹持件用于推动晶圆的两侧，并将所述晶圆的中心与所述夹持组件的中心对齐；所述第一推动件推动所述第一夹持件平动时，所述第二夹持件能够通过所述带轮组件跟随所述第一夹持件运动；所述柔性组件在所述同步带传动过程中起到缓冲作用，减小所述第一夹持件和所述第二夹持件对所述晶圆的冲击力，从而保护所述晶圆，防止所述晶圆被夹碎。

在本发明的一个实施例中，所述柔性组件包括：至少一个柔性件以及连接所述柔性件的拉块。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述柔性件能够形变，从而起到缓冲的作用，所述拉块用于连接所述柔性件和所述同步带。

在本发明的一个实施例中，所述带轮组件还包括：第一齿条和第二齿条，所述第一齿条和所述第二齿条啮合于所述同步带运动方向相反的两侧；其中，所述第一齿条与所述第一夹持件连接，所述第二齿条与所述第二夹持件连接。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第一夹持件通过所述第一齿条将动力传递至所述同步带，再通过所述第二齿条将动力传递至所述第二夹持件；所述第一齿条和所述第二齿条啮合于所述同步带两侧，从而实现所述第一夹持件和所述第二夹持件能够同时靠拢或分开。

在本发明的一个实施例中，所述同步带包括靠近所述夹持组件的第一运动段和远离所述夹持组件的第二运动段；其中，第一运动段与所述第一齿条啮合并夹设于第一齿条与第一夹持件之间，第二运动段与所述第二齿条啮合并夹设于第二齿条与第二夹持件之间。

采用该技术方案后所达到的技术效果：所述第一夹持件能够防止所述第一齿条与所述同步带脱离，所述第二夹持件能够防止所述第二齿条与所述同步带脱离。

在本发明的一个实施例中，所述第二夹持件包括：第二夹持件本体以及连接所述第二夹持件本体的柔性件连接板，所述柔性件连接板伸出至所述第二运动段，并与所述第二齿条连接；其中，所述拉块连接所述第二运动段，所述柔性件连接所述柔性件连接板。