[发明专利]一种晶圆对中装置有效
| 申请号： | 202110561983.6 | 申请日： | 2021-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN113035764B | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 汪钢;傅立超 | 申请（专利权）人： | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L21/687 |
| 代理公司： | 浙江中桓凯通专利代理有限公司 33376 | 代理人： | 李美宝 |
| 地址： | 315400 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 装置 | ||
1.一种晶圆对中装置，其特征在于，包括：
夹持组件，包括相对设置的第一夹持件和第二夹持件；
第一推动件，连接所述第一夹持件，能够推动所述第一夹持件靠近或远离所述第二夹持件；
带轮组件，设有同步带以及与所述同步带啮合的带轮，所述同步带与所述第一夹持件和所述第二夹持件分别啮合，带动所述第二夹持件与所述第一夹持件同时靠拢或分开；
其中，所述同步带设有柔性组件，所述柔性组件包括：至少一个柔性件以及连接所述柔性件的拉块；所述第二夹持件包括：第二夹持件本体以及连接所述第二夹持件本体的柔性件连接板，所述柔性件连接所述柔性件连接板。
2.根据权利要求1所述的晶圆对中装置，其特征在于，所述带轮组件还包括：第一齿条和第二齿条，所述第一齿条和所述第二齿条啮合于所述同步带运动方向相反的两侧；
其中，所述第一齿条与所述第一夹持件连接，所述第二齿条与所述第二夹持件连接。
3.根据权利要求2所述的晶圆对中装置，其特征在于，所述同步带包括靠近所述夹持组件的第一运动段和远离所述夹持组件的第二运动段；
其中，第一运动段与所述第一齿条啮合并夹设于第一齿条与第一夹持件之间，第二运动段与所述第二齿条啮合并夹设于第二齿条与第二夹持件之间。
4.根据权利要求3所述的晶圆对中装置，其特征在于，所述柔性件连接板伸出至所述第二运动段，并与所述第二齿条连接；
其中，所述拉块连接所述第二运动段。
5.根据权利要求2-4任意一项所述的晶圆对中装置，其特征在于，所述带轮组件还包括：第三齿条，所述第三齿条与所述拉块连接，并与所述同步带啮合。
6.根据权利要求1所述的晶圆对中装置，其特征在于，所述夹持组件还包括：导轨，所述第一夹持件和所述第二夹持件滑动连接所述导轨。
7.根据权利要求1所述的晶圆对中装置，其特征在于，还包括：晶圆安装组件，设于所述第一夹持件和所述第二夹持件之间。
8.根据权利要求7所述的晶圆对中装置，其特征在于，还包括：升降组件，连接所述晶圆安装组件的底面。
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