[发明专利]一种晶圆表面清理装置

说明书

本发明提供一种晶圆表面清理装置，包括清洁外壳，清洁外壳内部设有吸尘管道，吸尘管道的吸附口外侧设有滤网，滤网通过嵌设在清洁外壳内部进行固定，清洁外壳在吸尘管道的吸附口朝向处开设有集尘口，集尘口上设有防触碰圈，集尘口内部前端设有清尘板，清尘板通过固定杆进行固定，集尘口内部后端设有废料收集腔；本发明避免了与晶圆的直接接触，通过吸附的方式可以将残留物去除，同时将颗粒物与灰尘分开，避免堵塞，通过清尘板的清理可以反复利用。

技术领域

本发明主要涉及半导体生产领域，尤其涉及一种晶圆表面清理装置。

背景技术

晶圆在每一步生产加工完成后，表面会残有因加工而产生的遗留物，或者是外部环境带来的外来污染。这些杂志会对后续的加工形成影响，需要清理。但晶圆表面极易被划伤，不能直接接触，所以常规方法难以完成。

发明内容

针对现有技术的上述缺陷，本发明提供一种晶圆表面清理装置，包括清洁外壳1，清洁外壳1内部设有吸尘管道2，吸尘管道2 的吸附口外侧设有滤网3，滤网3通过嵌设在清洁外壳1内部进行固定，清洁外壳1在吸尘管道2的吸附口朝向处开设有集尘口，集尘口上设有防触碰圈4，集尘口内部前端设有清尘板5，清尘板5通过固定杆6进行固定，集尘口内部后端设有废料收集腔7。

优选的，清洁外壳1采用铝合金材质，内部设有集尘区。

优选的，吸尘管道2一端为吸附口，另一端与外部负压产生装置相连。

优选的，滤网3为网罩结构，截面为圆弧形，采用不锈钢材质。

优选的，防触碰圈4为橡胶材质，通过熔融与集尘口固定连接，防触碰圈4的顶部高于清洁外壳1的表面。

优选的，清尘板5靠近集尘口的一面设有凸起，远离集尘口的一面设有避让口，清尘板5通过固定板8和固定杆6的配合进行固定。

优选的，固定杆6一端为直线型，设有螺纹，穿设过清洁外壳1 后通过螺母进行固定，另一端设有折弯，通过清尘板5进行限位。

优选的，废料收集腔7为铝合金材质，通过嵌入的方式与清洁外壳1固定连接。

本发明的有益效果：避免了与晶圆的直接接触，通过吸附的方式可以将残留物去除，同时将颗粒物与灰尘分开，避免堵塞，通过清尘板的清理可以反复利用。

附图说明

图1为本发明的结构图；

图中，

1、清洁外壳；2、吸尘管道；3、滤网；4、防触碰圈；5、清尘板；6、固定杆；7、废料收集腔；8、固定板。

具体实施方式

为了使本技术领域人员更好地理解本发明的技术方案，并使本发明的上述特征、目的以及优点更加清晰易懂，下面结合实施例对本发明做进一步的说明。实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。

如图1所示可知，本发明包括有：清洁外壳1，清洁外壳1 内部设有吸尘管道2，吸尘管道2的吸附口外侧设有滤网3，滤网3 通过嵌设在清洁外壳1内部进行固定，清洁外壳1在吸尘管道2的吸附口朝向处开设有集尘口，集尘口上设有防触碰圈4，集尘口内部前端设有清尘板5，清尘板5通过固定杆6进行固定，集尘口内部后端设有废料收集腔7。

在本实施中优选的，清洁外壳1采用铝合金材质，内部设有集尘区。

设置上述结构，清洁外壳1采用铝合金材质，质量较轻，便于拿取。

在本实施中优选的，吸尘管道2一端为吸附口，另一端与外部负压产生装置相连。

在本实施中优选的，滤网3为网罩结构，截面为圆弧形，采用不锈钢材质。