[发明专利]薄膜晶体管、阵列基板、显示面板及显示装置有效
申请号: | 202110546950.4 | 申请日: | 2021-05-19 |
公开(公告)号: | CN113327989B | 公开(公告)日: | 2022-05-17 |
发明(设计)人: | 李东华;魏晓丽 | 申请(专利权)人: | 厦门天马微电子有限公司 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L29/423;H01L27/12 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人: | 娜拉 |
地址: | 361101 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 薄膜晶体管 阵列 显示 面板 显示装置 | ||
本申请提供了一种薄膜晶体管、阵列基板、显示面板及显示装置,薄膜晶体管,包括层叠且通过层间绝缘层绝缘设置的有源结构和栅极,有源结构包括源区、漏区和沟道区,源区和漏区位于沟道区的两侧,栅极为包括开口的图案结构层,开口在层间绝缘层的正投影位于沟道区在层间绝缘层的正投影内。本申请实施例通过在栅极上设置开口,从而减小反型层的长度,进而在不改变源极或漏极线宽的前提下,增大了薄膜晶体管的宽长比,提高薄膜晶体管的驱动能力。
技术领域
本申请涉及显示设备技术领域,尤其涉及一种薄膜晶体管、阵列基板、显示面板及显示装置。
背景技术
随着当代显示技术的发展,用户对于显示装置的要求逐渐增加。现有显示装置主要分为液晶显示装置和有机发光显示装置,两种显示装置中的像素单元均是通过驱动信号输入驱动电路实现启亮。薄膜晶体管作为驱动电路的主要组成结构,对驱动信号起到一定的影响作用,因此通过调节薄膜晶体管的结构尺寸,可以实现像素单元的亮度控制。
发明内容
本申请实施例提供了一种薄膜晶体管、阵列基板、显示面板及显示装置,能够增大薄膜晶体管内的驱动电流,提高驱动能力。
第一方面,本申请实施例提供了一种薄膜晶体管,包括层叠且通过层间绝缘层绝缘设置的有源结构和栅极,有源结构包括源区、漏区和沟道区,源区和漏区位于沟道区的两侧,栅极为包括开口的图案结构层,开口在层间绝缘层的正投影位于沟道区在层间绝缘层的正投影内。
第二方面,本申请实施例提供了一种阵列基板,阵列基板具有第一区域和第二区域,第二区域在第一区域的周侧分布,阵列基板包括设置在第二区域的多路分配组件,多路分配组件包括时钟控制信号线以及前述任一实施方式的薄膜晶体管,薄膜晶体管的栅极与时钟控制信号线电连接。
第三方面,本申请实施例又提供了一种阵列基板,阵列基板具有第一区域和第二区域,第二区域在第一区域的周侧分布,阵列基板包括设置在第一区域的数据线、扫描线以及第一电极,以及前述任一实施方式的薄膜晶体管,薄膜晶体管的第一极与数据线电连接,薄膜晶体管的第二极与第一电极电连接,栅极与扫描线电连接。
第四方面,本申请实施例提供了一种显示面板,包括第二方面中任一实施方式的阵列基板。
第五方面,本申请实施例提供了又一种显示面板,包括第三方面中任一实施方式的阵列基板以及驱动芯片,驱动芯片设置于第二区域并位于第一区域一侧;第一电极包括第一子电极和第二子电极,第一子电极位于第二子电极远离驱动芯片的一侧。
与第一子电极相连接的薄膜晶体管中的开口在层间绝缘层的正投影面积为S1,与第二子电极相连接的薄膜晶体管中的开口在层间绝缘层的正投影棉结为S2,其中S1S2。
第六方面,本申请实施例提供了一种显示装置,包括前述任一实施方式的显示面板。
本申请实施例的一种薄膜晶体管、阵列基板、显示面板及显示装置,薄膜晶体管包括栅极和有源结构,栅极在有源结构的正投影区域落入反型层所在位置,本申请通过在栅极上设置开口,从而减小反型层的长度,进而在不改变源极或漏极线宽的前提下,增大了薄膜晶体管的宽长比,提高薄膜晶体管的驱动能力。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案,下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单的介绍,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本申请实施例提供的一种薄膜晶体管的结构示意图;
图2为图1沿a-a’的剖面结构示意图;
图3是图1所示薄膜晶体管中栅极的结构示意图;
图4是本申请实施例提供的薄膜晶体管与对比例提供的薄膜晶体管的关于栅极电压与驱动电流的性能曲线图;
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