[发明专利]一种用于晶圆解理的绷紧机构、绷膜组件及绷膜方法

权利要求书

1.一种用于晶圆解理的绷紧机构(200)，其特征在于，包括：

底座(201)，正面用于放置绷膜架(100)；

顶紧块(205)，具有四个，间隔设置在所述底座(201)的正面的四角处；所述顶紧块(205)受驱动的滑动设置在所述底座(201)上；所述顶紧块(205)具有靠近所述底座(201)中心的第一状态，也具有远离所述底座(201)中心的第二状态；所述顶紧块(205)适于与绷膜架(100)抵接。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆解理的绷紧机构(200)，其特征在于，所述顶紧块(205)与驱动装置连接；所述驱动装置包括：

转盘(206)，转动设置在所述底座(201)的背面；所述转盘(206)上设置有驱动槽(207)；所述驱动槽(207)具有靠近所述转盘(206)中心的第一端(208)，也具有远离所述转盘(206)中心的第二端(209)；

驱动轴(204)，一端滑动设置在驱动槽(207)内，另一端穿过所述底座(201)与顶紧块(205)连接；所述驱动轴(204)受驱动的滑动设置在所述底座(201)上。

3.根据权利要求2所述的用于晶圆解理的绷紧机构(200)，其特征在于，所述底座(201)上设置有滑动槽(202)，所述顶紧块(205)滑动设置在所述滑动槽(202)内；所述滑动槽(202)的内部设置有贯通底座(201)的长条孔(203)，所述驱动轴(204)滑动设置在所述长条孔(203)内。

4.根据权利要求3所述的用于晶圆解理的绷紧机构(200)，其特征在于，还包括：

连接板(211)，滑动设置滑动槽(202)内；所述连接板(211)的一端与顶紧块(205)连接，另一端朝向所述底座(201)的中心伸出与驱动轴(204)连接；

导向杆(212)，一端与底座(201)固定连接，另一端与所述顶紧块(205)滑动连接。

5.根据权利要求3所述的用于晶圆解理的绷紧机构(200)，其特征在于，还包括：

手柄(210)，一端与转盘(206)连接，另一端伸出所述底座(201)。

6.一种绷膜组件，其特征在于，包括：绷紧机构(200)以及与绷紧机构(200)配合使用的绷膜架(100)，所述绷膜架(100)为权利要求1-5中任一项所述的绷紧机构(200)；所述绷膜架(100)的周长能够调节。

7.根据权利要求6所述的绷膜组件，其特征在于，所述绷膜架(100)包括：

绷膜管(101)组，具有四根围绕成矩形的绷膜管(101)；所述绷膜管(101)内部具有腔体；

张紧角(102)，具有滑动插设到所述绷膜管(101)的腔体内的插入端(105)；

弹性件(107)，具有多个，设置在绷膜管(101)的腔体内；所述弹性件(107)的一端与绷膜管(101)的腔体的内壁连接，另一端与所述张紧角(102)的插入端(105)的端部抵接；所述弹性件(107)具有驱动所述张紧角(102)朝向腔体外移动的偏压力。

8.根据权利要求7所述的绷膜组件，其特征在于，所述张紧角(102)和所述绷膜管(101)之间设置有限位装置；

所述限位装置包括：

限位槽(103)，开设在所述绷膜管(101)的侧壁上；

限位凸起(104)，一端与张紧角(102)的插入端(105)连接，另一端滑动设置在所述限位槽(103)内。