[发明专利]挠曲光伏效应下柔性复合薄膜铁电存储器和传感器在审
| 申请号： | 202110519095.8 | 申请日： | 2021-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN115346989A | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 任凯亮;张双哲;张博文;汪晨琛 | 申请（专利权）人： | 北京纳米能源与系统研究所 |
| 主分类号： | H01L27/11502 | 分类号： | H01L27/11502;G11C11/22;G01L1/00 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 刘亚威 |
| 地址： | 101400 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 挠曲 效应 柔性 复合 薄膜 存储器 传感器 | ||
1.一种柔性复合薄膜，其特征在于，包括有机支撑膜，所述有机支撑膜中镶嵌有至少一组无机纳米阵列，所述无机纳米阵列具有挠曲电效应；
任一所述无机纳米阵列中包括多根定向排列的无机纳米管或无机纳米纤维，所述无机纳米管或无机纳米纤维的长度方向与所述有机支撑膜的厚度方向夹角小于30°。
2.根据权利要求1所述的柔性复合薄膜，其特征在于，所述无机纳米管或所述无机纳米纤维的材料为具有铁电性能的材料。
3.根据权利要求2所述的柔性复合薄膜，其特征在于，所述无机纳米管或所述无机纳米纤维的材料包括锆钛酸铅、钛酸钡或铌酸银中的至少一种。
4.根据权利要求1-3任一项所述的柔性复合薄膜，其特征在于，所述无机纳米管或所述无机纳米纤维的长度方向与所述有机支撑膜的厚度方向平行。
5.根据权利要求1-3任一项所述的柔性复合薄膜，其特征在于，所述无机纳米管或所述无机纳米纤维的直径为50～500nm，所述无机纳米管或所述无机纳米纤维的长度为40～150μm。
6.根据权利要求1-3任一项所述的柔性复合薄膜，其特征在于，按体积百分比计，所述无机纳米阵列在所述柔性复合薄膜中的体积占比大于0.1％。
7.根据权利要求1-3任一项所述的柔性复合薄膜，其特征在于，所述有机支撑膜包括聚二甲基硅氧烷、环氧树脂或聚偏氟乙烯。
8.根据权利要求1-3任一项所述的柔性复合薄膜，其特征在于，所述柔性复合薄膜的弯曲曲率大于34.7m-1时，挠曲光伏电流大于0.224nA。
9.一种存储器，其特征在于，包括至少一个存储单元，任一所述存储单元包括权利要求1-8任一项所述的柔性复合薄膜。
10.一种传感器，其特征在于，包括至少一个感应单元，任一所述感应单元包括权利要求1-8任一项所述的柔性复合薄膜。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
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