[发明专利]测温装置的调节装置

权利要求书

1.一种测温装置的调节装置，用于半导体工艺设备中，其特征在于，包括第一承载件、第二承载件和调节组件，其中，

所述第一承载件与所述测温装置连接，用于对所述测温装置进行承载；所述第二承载件位于所述第一承载件下方，并与所述第一承载件相对设置；

所述调节组件设置在所述第一承载件与所述第二承载件之间，且所述调节组件上设置有至少一个调节旋钮，所述调节组件用于通过旋转所述调节旋钮以调节所述第一承载件相对于所述第二承载件的倾斜方向。

2.根据权利要求1所述的测温装置的调节装置，其特征在于，所述调节组件包括两个所述调节旋钮、支撑件和弹性连接件，其中，

所述弹性连接件的两端分别固定连接于所述第一承载件和所述第二承载件相对的表面，且用于在所述调节旋钮调节所述第一承载件相对于所述第二承载件的倾斜方向时，产生弹性形变对所述第一承载件进行支撑；

所述调节旋钮面向所述第二承载件的一面固定在所述第二承载件上，面向所述第一承载件的一面与所述第一承载件滚动接触；

所述支撑件分别与所述第二承载件和所述第一承载件相对的两面滚动接触；

所述弹性连接件设置于所述第一承载件与所述第二承载件之间的中部区域，两个所述调节旋钮、所述支撑件间隔分布在所述弹性连接件的周围。

3.根据权利要求2所述的测温装置的调节装置，其特征在于，所述调节旋钮包括滚珠、滚轮和转轴；其中，

所述第二承载件上设置有供所述转轴插入的容纳孔，所述转轴的外周设置有外螺纹，所述容纳孔中设置有与所述外螺纹配合内螺纹；

所述滚轮设置在所述转轴上，且所述滚轮的边缘相对于所述第一承载件和所述第二承载件的边缘凸出，所述滚轮的旋转能够带动所述转轴在所述容纳孔中转动，使所述转轴伸入所述容纳孔或者从所述容纳孔中伸出；

所述滚珠设置在所述滚轮面向所述第一承载件的一面，所述滚珠用于与所述第一承载件的表面进行滚动接触。

4.根据权利要求2所述的测温装置的调节装置，其特征在于，所述第一承载件面向所述第二承载件的表面上与两个所述调节旋钮对应的区域设置有容纳结构，所述容纳结构用于为对应的所述调节旋钮提供旋转空间。

5.根据权利要求2所述的测温装置的调节装置，其特征在于，所述支撑件包括转动体和座体，其中，

所述座体设置在所述第二承载件上，且所述座体中设置有容纳所述转动体的第一容纳槽；所述第一承载件面向所述第二承载件的一面设置有容纳所述转动体的第二容纳槽；所述第二容纳槽与所述第一容纳槽对应设置；

所述转动体可旋转的设置在所述第一容纳槽和所述第二容纳槽中，以在所述第一承载件相对于所述第二承载件的倾斜方向发生改变时，与所述第一承载件和所述第二承载件产生滚动接触。

6.根据权利要求2所述的测温装置的调节装置，其特征在于，所述弹性连接件包括弹簧板，所述弹簧板包括第一连接部、第二连接部和过渡部；其中，

所述第一连接部与所述第一承载件连接，所述第二连接部与所述第二承载件连接，所述过渡部分别与所述第一连接部和所述第二连接部连接；

所述第一连接部与所述第二连接部平行设置，所述过渡部相对于所述第一连接部和所述第二连接部倾斜设置。

7.根据权利要求6所述的测温装置的调节装置，其特征在于，所述弹簧板上开设有多个通孔。

8.根据权利要求6所述的测温装置的调节装置，其特征在于，所述过渡部相对于所述第一连接部和所述第二连接部的倾斜角度为3°-20°。

9.根据权利要求6所述的测温装置的调节装置，其特征在于，所述第一承载件和所述第二承载件均呈板状，所述测温装置承载于所述第一承载件背离所述第二承载件的一面上，所述第一承载件和所述第二承载件分别设置有第一透光结构和第二透光结构，所述第一透光结构和所述第二透光结构对应设置，用于供所述测温装置发射的测温光束透过。

10.根据权利要求9所述的测温装置的调节装置，其特征在于，所述过渡部上设置有第三透光结构，所述第三透光结构与所述第一透光结构和所述第二透光结构均对应设置，用于供所述测温装置发射的测温光束透过。