[发明专利]电控全息天线高频液晶辐射面子阵的制备方法

权利要求书

1.一种电控全息天线高频液晶辐射面子阵的制备方法，具有如下技术特征：在制备电控全息天线高频液晶辐射面子阵中，利用紫外激光加工方式，在玻璃基片上的中部制出两排平行线阵上电极板微细孔（1），在上电极板（14）、玻璃框架（15）、下电极板（17）上制出贯通的销孔，以及玻璃基片下电极板安装孔（7）和位于下电极板（17）下端对称于两边的线阵射频孔（6）；然后采用薄膜技术在上电极板（14）、下电极板（17）上制作辐射面子阵的电路图形，即在上电极板（14）正、背两面上形成金属层，在上电极板（14）上表面金属层制出的两条平行线阵孔之间，刻出具有毫米波辐射功能的且平行排列的工字型金属图形（3）和位于宽边一侧的上电极板十字标记（4），并在上电极板（14）的下表面刻出对应上表面金属层两条平行线阵孔和工字型金属图形（3）的矩形条金属图形（5）；在下电极板（17）正面的金属层上，制出与线阵射频孔（6）对应的线阵排列焊盘（9），以线阵射频孔（6）为起始点，通过相连的微带线（11）连接指状阵列电极（10），并在指状阵列电极（10）的两侧边制出下电极板十字标记（12），再利用磁控溅射和电镀方法形成下电极板背面的金属层；然后以下电极板十字标记（12）为基准，形成与位于下电极正面的线阵排列焊盘（9）一一对应的下电极板背面焊盘（13）和线阵射频孔（6）的孔壁金属化层，实现下电极板（17）正面线阵排列焊盘（9）和下电极板背面焊盘（13）的信号连通；随后以上电极板十字标记（4）和下电极板十字标记（12）为基准，制出上电极板销孔（2）、下电极板销孔（8）和上、下电极板的外形轮廓；用直径为1mm的销钉（18）对上电极板（14）、玻璃框架（15）、下电极板（17）进行定位组装，组装时先组装下电极板（17）、与玻璃框架（15），再在下电极表面、玻璃框架（15）内注入液晶填充材料（16），最后组装上电极板（14），形成电控全息天线高频液晶辐射面子阵。

2.如权利要求1所述的电控全息天线高频液晶辐射面子阵的制备方法，其特征在于：工作时，上电极板（14）加载基准电压，下电极板（17）上的指状阵列电极（10）的每个指状电极通过微带线（11）引线和外部的电压逻辑控制器件相连接；这些指状电极周期性排列构成全息结构，利用该全息结构改变源天线的辐射特性，获得所期望的天线波束指向。

3.如权利要求2所述的电控全息天线高频液晶辐射面子阵的制备方法，其特征在于：不同的天线波束指向对指状阵列电极（10）的要求不同，得到的全息结构也不同，通过外加不同的电压来调控全息结构中指状电极的激励幅度值，获得不同的天线波束指向。

4.如权利要求3所述的电控全息天线高频液晶辐射面子阵的制备方法，其特征在于：清洗后的玻璃基片干燥后放入磁控溅射机中，利用预置程序在玻璃基片背面溅射TiW/Au金属层，溅射完成后用电镀方式对Au层进行加厚。

5.如权利要求4所述的电控全息天线高频液晶辐射面子阵的制备方法，其特征在于：电镀完成后对玻璃基片背面贴上高温胶带进行保护，将玻璃基片再次放入磁控溅射机中，利用预置程序在玻璃基片正面溅射TiW/Au金属层，溅射完成后用电镀方式对Au层进行加厚。

6.如权利要求5所述的电控全息天线高频液晶辐射面子阵的制备方法，其特征在于：通过涂胶、光刻、显影在玻璃基片正面制作光刻胶保护层，对上电极板微细孔（1）填充光刻胶进行保护后，使用等离子刻蚀机刻蚀形成位于上电极正面的工字型金属图形（3）和上电极板十字标记（4）；用丙酮超声方式去除玻璃基片正面和填充在上电极板微细孔（1）内的光刻胶，在玻璃基片正面贴上高温胶带保护位于上电极正面的工字型金属图形（3）和上电极板十字标记（4），撕去贴在玻璃基片背面的高温胶带。