[发明专利]芯片标记方法、系统、电子设备及计算机可读存储介质

权利要求书

1.一种芯片标记方法，其特征在于，包括：

提供一晶圆；

逐行/列扫描所述晶圆上的芯片，每扫描得到一个合格芯片，均以所述合格芯片为中心芯片选取一第一芯片区域，所述第一芯片区域是以对应的所述中心芯片为中心的N行N列矩阵，其中，N为大于或等于5的奇数；

获取所述第一芯片区域的芯片良率并判断所述第一芯片区域的芯片良率与第一良率设定值的大小关系，当所述第一芯片区域的芯片良率小于所述第一良率设定值时，将所述第一芯片区域等比例缩小以构成第二芯片区域，所述第二芯片区域是以对应的所述中心芯片为中心的M行M列矩阵，其中，M为大于或等于3的奇数，NM；

获取所述第二芯片区域内的芯片良率并判断所述第二芯片区域的芯片良率与第二良率设定值的大小关系，当所述第二芯片区域内的芯片良率小于第二良率设定值，则对所述中心芯片进行标记。

2.如权利要求1所述的芯片标记方法，其特征在于，逐行/列扫描所述晶圆上的芯片时，当扫描到前后第行和前后第列有合格芯片时，将所述合格芯片默认为不合格芯片。

3.如权利要求1所述的芯片标记方法，其特征在于，逐行/列扫描所述晶圆上的芯片时，从第行、第列扫描到第行、第列，K为行/列数。

4.如权利要求1所述的芯片标记方法，其特征在于，逐行/列扫描所述晶圆上的芯片之前，对所述晶圆上的芯片进行测试，以获取所述合格芯片，逐行/列扫描所述晶圆上的芯片时，通过识别所述芯片的标识判定是否为合格芯片。

5.如权利要求1所述的芯片标记方法，其特征在于，所述标记为墨点标记。

6.如权利要求1所述的芯片标记方法，其特征在于，将标记的所述中心芯片作为隐患芯片。

7.如权利要求1所述的芯片标记方法，其特征在于，所述第一良率设定值及所述第二良率设定值均为65％～75％。

8.一种芯片标记系统，其特征在于，包括：

晶圆供应模块，用于提供一晶圆；

第一芯片区域构建模块，用于逐行/列扫描所述晶圆上的芯片，每扫描得到一个合格芯片，均以所述合格芯片为中心芯片选取一第一芯片区域，所述第一芯片区域是以对应的所述中心芯片为中心的N行N列矩阵，其中，N为大于或等于5的奇数；

判断及第二芯片区域构建模块，用于获取所述第一芯片区域的芯片良率并判断所述第一芯片区域的芯片良率与第一良率设定值的大小关系，当所述第一芯片区域的芯片良率小于所述第一良率设定值时，将所述第一芯片区域等比例缩小以构成第二芯片区域，所述第二芯片区域是以对应的所述中心芯片为中心的M行M列矩阵，其中，M为大于或等于3的奇数，NM；

标记模块，用于获取所述第二芯片区域内的芯片良率并判断所述第二芯片区域的芯片良率与第二良率设定值的大小关系，当所述第二芯片区域内的芯片良率小于第二良率设定值，则对所述中心芯片进行标记。

9.一种电子设备，其特征在于，所述电子设备包括：

一个或多个执行器；以及，

存储器，用于存储一个或多个程序；以及，

当所述一个或多个程序被所述一个或多个执行器执行，使得所述一个或多个执行器实现如权利要求1-7中任一所述的芯片标记方法。

10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该程序被执行器执行时实现如权利要求1-7中任一所述的芯片标记方法。