[发明专利]一种热沉及其制备方法、半导体激光器系统在审
申请号: | 202110385325.6 | 申请日: | 2021-04-09 |
公开(公告)号: | CN113131333A | 公开(公告)日: | 2021-07-16 |
发明(设计)人: | 袁磊;刘晓雷;郭学文;潘华东;闵大勇 | 申请(专利权)人: | 苏州长光华芯光电技术股份有限公司;苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司 |
主分类号: | H01S5/024 | 分类号: | H01S5/024;H01S5/40 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 薛异荣 |
地址: | 215000 江苏省苏州市高新区昆仑山路189号*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 及其 制备 方法 半导体激光器 系统 | ||
1.一种热沉,其特征在于,所述热沉具有相对的第一面和第二延展面,所述第一面包括第一台阶承载面至第N台阶承载面,第k台阶承载面与第k+1台阶承载面相邻,第一台阶承载面的高度至第N台阶承载面的高度依次递增,第一台阶承载面底部的第二延展面的高度至第N台阶承载面底部的第二延展面的高度依次递增,N为大于或等于2的整数,k为大于或等于1且小于或等于N-1的整数。
2.根据权利要求1所述的热沉,其特征在于,第一台阶承载面至第N台阶承载面相互平行,所述第一台阶承载面至所述第N台阶承载面的排布方向与第一台阶承载面之间具有第一锐角夹角;所述第二延展面与所述第一台阶承载面之间具有第二锐角夹角;所述第二锐角夹角与所述第一锐角夹角之间的差值小于或等于1度。
3.根据权利要求2所述的热沉,其特征在于,所述第二锐角夹角与所述第一锐角夹角相等。
4.根据权利要求2或3所述的热沉,其特征在于,所述第一锐角夹角为2.86度~4.57度。
5.根据权利要求2或3所述的热沉,其特征在于,所述第二锐角夹角为2.86度至6度。
6.根据权利要求1所述的热沉,其特征在于,对于第一台阶承载面至第N台阶承载面中的各台阶承载面,在垂直于第一台阶承载面的方向上,各台阶承载面的中心至第二延展面的厚度一致。
7.根据权利要求1或6所述的热沉,其特征在于,对于第一台阶承载面至第N台阶承载面中的各台阶承载面,在垂直于第一台阶承载面的方向上,各台阶承载面的中心至第二延展面的厚度为2mm~3mm。
8.根据权利要求1所述的热沉,其特征在于,所述热沉的材料包括铜、或者铝合金。
9.一种如权利要求1至8任意一项所述的热沉的制备方法,其特征在于,包括:
提供初始热沉,所述初始热沉具有相对的第一初始面和第二初始面;
对所述第一初始面进行机械加工,对第二初始面进行机械加工,使初始热沉形成热沉,且使第一初始面形成热沉的第一面,使第二初始面形成热沉的第二延展面;所述第一面包括第一台阶承载面至第N台阶承载面,第k台阶承载面与第k+1台阶承载面相邻,第一台阶承载面的高度至第N台阶承载面的高度依次递增,第一台阶承载面底部的第二延展面的高度至第N台阶承载面底部的第二延展面的高度依次递增,N为大于或等于2的整数,k为大于或等于1且小于或等于N-1的整数。
10.一种半导体激光器系统,其特征在于,包括:
权利要求1至8任意一项所述的热沉;
若干激光器芯片,分别位于第一台阶承载面至第N台阶承载面上。
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