[发明专利]一种可拆卸的半导体分析装置

权利要求书

1.一种可拆卸的半导体分析装置，其特征在于：包括，

支撑组件（100），所述支撑组件（100）包括平台（101）和调节台（102），所述调节台（102）固定竖直设置在所述平台（101）的一侧；

转向组件（200），所述转向组件（200）包括抽拉部件（201）、固定外壳（202）和卡合件（203），所述平台（101）上设置容置槽（101a），所述容置槽（101a）一侧贯穿连通，所述抽拉部件（201）滑动设置在所述容置槽（101a）内，所述固定外壳（202）可安装在所述抽拉部件（201）中，所述卡合件（203）一端连接所述容置槽（101a）端壁，另一端可伸入所述抽拉部件（201）中连接所述固定外壳（202）；

所述容置槽（101a）两侧设置第一滑槽（101b），所述抽拉部件（201）两侧设置第一滑块（201a），所述第一滑块（201a）嵌于所述第一滑槽（101b）内，所述抽拉部件（201）上设置方槽（201b），所述固定外壳（202）安装在所述方槽（201b）内；

所述卡合件（203）包括滑动板（203a）和固定块（203b），所述方槽（201b）两侧设置第二滑槽（201c），所述滑动板（203a）设置在所述方槽（201b）内并且两侧嵌于所述第二滑槽（201c）中，所述固定块（203b）一端固定连接所述容置槽（101a）端壁，另一端可伸入所述抽拉部件（201）中连接所述滑动板（203a）；

所述抽拉部件（201）的一端设置横通口（201d），所述固定块（203b）穿过所述横通口（201d）进入所述方槽（201b）内，所述固定块（203b）伸入所述方槽（201b）的一端设置横槽（203b-1），所述滑动板（203a）一端设置横条（203a-1），所述横条（203a-1）与所述横槽（203b-1）配合；

所述转向组件（200）还包括转轴（204）和限位盘（205），所述滑动板（203a）相对于所述横条（203a-1）另一端设置凸柱（203a-2），所述固定外壳（202）的一端设置环壳（202a），另一端设置圆槽（202b），所述凸柱（203a-2）可伸入所述环壳（202a）进行配合，所述抽拉部件（201）相对于所述横通口（201d）的另一端设置通孔（201e），所述限位盘（205）固定连接所述抽拉部件（201），所述转轴（204）穿过所述限位盘（205）和通孔（201e）伸入所述圆槽（202b）内。

2.如权利要求1所述的可拆卸的半导体分析装置，其特征在于：所述抽拉部件（201）的一端与所述容置槽（101a）的端壁通过第一弹性件（A）活动连接。

3.如权利要求1或2所述的可拆卸的半导体分析装置，其特征在于：所述限位盘（205）上设置环槽（205a）和限位孔（205b），所述限位孔（205b）圆周设置在所述环槽（205a）的外围，所述转轴（204）一端设置连杆（204a），所述连杆（204a）上设置卡块（204b）和弹簧（204c），所述卡块（204b）可嵌入所述限位孔（205b）内进行配合，所述弹簧（204c）另一端设置环板（204d），所述环板（204d）嵌于所述环槽（205a）内。

4.如权利要求3所述的可拆卸的半导体分析装置，其特征在于：还包括红外分析组件（300），其包括移动板（301）、第一连接板（302）、第二连接板（303）和红外成像器（304），所述移动板（301）活动设置在所述调节台（102）上，所述第一连接板（302）一端螺栓连接所述移动板（301），另一端铰接所述第二连接板（303），第二连接板（303）的另一端连接所述红外成像器（304）。

5.如权利要求4所述的可拆卸的半导体分析装置，其特征在于：所述调节台（102）上竖直设置T型槽（102a），所述移动板（301）呈“T型”结构，所述移动板（301）嵌于所述T型槽（102a）内，所述第二连接板（303）的一端设置圆孔（303a），所述红外成像器（304）一侧设置圆柱（304a），所述圆柱（304a）伸入所述圆孔（303a）进行转动连接。

6.如权利要求5所述的可拆卸的半导体分析装置，其特征在于：所述红外分析组件（300）还包括限位板（305），所述限位板（305）安装在所述移动板（301）上，所述移动板（301）上垂直设置一对方板（301a），所述限位板（305）内部中心设置空心槽（305a），所述空心槽（305a）两侧贯穿连通并且空心槽（305a）内设置长块（305b），所述长块（305b）两侧伸出所述空心槽（305a）与所述方板（301a）连接，所述长块（305b）与所述空心槽（305a）内端壁通过第二弹性件（B）连接；

所述调节台（102）上设置卡槽（102b），所述卡槽（102b）竖直设置多个并且与所述T型槽（102a）连通，所述限位板（305）可穿过所述卡槽（102b）。