[发明专利]电连接装置和检查方法

说明书

本发明提供一种电连接装置和检查方法，能够通过规定的按压力使探针与被检查体接触。电连接装置具备探针头、探针头保持的测定用探针以及确认用探针。探针头将测定用探针和确认用探针以测定用探针和确认用探针的前端从探针头露出的状态保持，确认用探针的从探针头至露出的部分的直至前端为止的长度比测定用探针的该长度短。

技术领域

本发明涉及一种用于测定被检查体的电特性的电连接装置和检查方法。

背景技术

使用具有与被检查体接触的探针的电连接装置来在不与晶圆分离的状态下测定半导体集成电路等被检查体的电特性。电连接装置例如具有将保持探针的探针头安装于布线基板的结构(参照专利文献1。)。探针的基端与布线基板连接，在测定被检查体时，探针的前端与被检查体接触。

在被检查体的测定中，探针与被检查体电连接。因此，以将探针强力地推向被检查体的方式对探针作用过驱动(OD)。针对电连接装置设定固定的过驱动量，以通过规定的按压力使探针通过OD与被检查体接触。下面，将设定的过驱动量称作“Program Over Drive(POD)”。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-138157号公报

发明内容

发明要解决的问题

确认通过所设定的POD而实际作用于探针的过驱动量(以下称作“Actual OverDrive(AOD)”。)对于确保探针与被检查体的电连接是有效的。若没有准确地掌握POD与AOD的关系，则有可能不会通过规定的按压力来使探针与被检查体接触。

本发明的目的在于提供一种通过规定的按压力来使探针与被检查体接触的电连接装置和检查方法。

用于解决问题的方案

根据本发明的方式，提供一种电连接装置，该电连接装置具备探针头、探针头保持的测定用探针以及确认用探针。确认用探针的前端长度比测定用探针的前端长度短，该前端长度是从探针头至露出的部分的直至前端为止的长度。

根据本发明的其它方式，提供一种检查方法，在该检查方法中，缩小探针头与检查用基板的间隔，直至前端长度比测定用探针的前端长度短的确认用探针与检查用基板接触为止，并且记录作用于测定用探针的过驱动量。

发明的效果

根据本发明，能够提供一种通过规定的按压力来使探针与被检查体接触的电连接装置和检查方法。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式所涉及的电连接装置的结构的示意图。

图2是表示测定用探针与确认用探针的配置关系的示意性的俯视图。

图3是表示测定用探针与确认用探针的其它配置关系的示意性的俯视图。

图4是用于说明本发明的实施方式所涉及的检查方法的流程图。

图5是用于说明本发明的实施方式所涉及的检查方法的示意图(其1)。

图6是用于说明本发明的实施方式所涉及的检查方法的示意图(其2)。

图7是检测确认用探针与检查用基板的电连接的电路。

图8的(a)～图8的(d)是表示具有带台阶的构造的确认用探针的例子的示意图。

图9是表示本发明的实施方式的变形例所涉及的电连接装置的结构的示意图。

附图标记说明