[发明专利]电连接装置和检查方法

权利要求书

1.一种电连接装置，其特征在于，具备：

探针头；

测定用探针，所述探针头将所述测定用探针以前端从所述探针头露出的状态保持，所述测定用探针用于进行被检查体的测定；以及

确认用探针，所述探针头将所述确认用探针以前端从所述探针头露出的状态保持，所述确认用探针的前端长度比所述测定用探针的前端长度短，该前端长度是从所述探针头至露出的部分的直至前端为止的长度。

2.根据权利要求1所述的电连接装置，其特征在于，

所述测定用探针与所述确认用探针的所述前端长度之差是根据使所述测定用探针与所述被检查体接触的按压力来设定的。

3.根据权利要求1或2所述的电连接装置，其特征在于，

所述确认用探针在从所述探针头露出的部分具有直径发生变化的带台阶的构造。

4.根据权利要求1或2所述的电连接装置，其特征在于，

具备多个所述确认用探针，多个所述确认用探针的所述前端长度互不相同。

5.根据权利要求1或2所述的电连接装置，其特征在于，

俯视观察时，所述探针头在保持所述测定用探针的区域的外侧保持所述确认用探针。

6.根据权利要求1或2所述的电连接装置，其特征在于，

在所述探针头的保持所述测定用探针的区域，所述测定用探针和所述确认用探针混合存在。

7.一种检查方法，其特征在于，包括以下步骤：

准备探针头，所述探针头将测定用探针和确认用探针分别以前端露出的状态保持，并且使所述确认用探针的前端长度比所述测定用探针的前端长度短，该前端长度是从所述探针头露出的部分的直至前端为止的长度；

缩小所述探针头与检查用基板的间隔，来使所述确认用探针的前端与所述检查用基板接触；以及

记录在所述确认用探针的前端与所述检查用基板接触的状态下作用于所述测定用探针的过驱动量。

8.根据权利要求7所述的检查方法，其特征在于，

根据使所述测定用探针与被检查体接触的按压力来设定所述测定用探针与所述确认用探针的所述前端长度之差。

9.根据权利要求7或8所述的检查方法，其特征在于，

通过检测所述确认用探针与所述检查用基板的电连接，来检测所述确认用探针与所述检查用基板的接触。

10.根据权利要求7或8所述的检查方法，其特征在于，还包括以下步骤：

在所述确认用探针的前端与所述检查用基板接触之后，进行以使所述确认用探针的所述前端长度变短的方式进行加工的前端处理。

11.根据权利要求10所述的检查方法，其特征在于，

使用在从所述探针头露出的部分具有直径发生变化的带台阶的构造的所述确认用探针，

在所述前端处理中，在所述带台阶的构造的部分处将所述确认用探针的前端切断或弯折。