[发明专利]一种用于晶棒加工时的自动装夹装置

说明书

一种用于晶棒加工时的自动装夹装置，涉及晶体加工辅助设备，本发明通过升降器（12）带动晶棒（2）升降实现晶棒三个工位的操作，通过晶棒推送器（4）和晶棒夹紧器（6）的配合动作，实现晶棒的拿取、夹紧和放置，避免了人工在加工过程中长期现场盯点的弊端，同时还有效的提高了加工效率，降低了生产成本等，本发明具有结构简便，使用效果等特点，进一步实现了晶棒加工的机械化程度，利于在晶体材料加工行业推广应用。

技术领域

本发明涉及晶体加工辅助设备领域，具体涉及一种用于晶棒加工时的自动装夹装置。

背景技术

已知的，在使用西门子法生产多晶硅的过程中，晶棒搭接技术是其中非常重要的关键技术之一，其主要应用于多晶硅生产中的一个环节，即还原反应过程；还原反应过程的原理是在一个密闭的还原炉中进行的，在装炉前先在还原炉内用晶棒搭接成若干个闭合回路，也就是行话中的“搭桥”；每个闭合回路都由两根竖晶棒和一根横晶棒组成；每一个闭合回路的两个竖晶棒分别接在炉底上的两个电极上，电极分别连接直流电源的正负极，然后对晶棒进行加热，加热中一组搭接好的晶棒相当于一个大电阻，向密闭的还原炉内通入氢气和三氯氢硅，进行还原反应；这样，所需的多晶硅就会在晶棒表面生成。以上所述就是晶棒及其搭接技术在多晶硅生产中的应用。

实现上述技术时，通过搭桥技术使一根横晶棒和两根竖晶棒进行联通，其中横晶棒的两端通过钻孔或切槽或磨削成一定形状，然后由磨削成一定形状的磨削面对应切槽部分进行搭接，或在晶棒端部设置具有一定锥度的插柱与晶棒的钻孔进行插接，形成最终的搭接方式；然而前述搭接技术必须对横晶棒或竖晶棒进行先期的加工，根据目前的加工能力，在加工横晶棒或竖晶棒时就要求在加工过程中必须时刻留有工作人员看守，当一根晶棒加工完成后，工作人员为了防止发生安全事故就要先停机，由人工取出已经加工好的晶棒，然后再装上一根新的晶棒，同时为了使晶棒在磨削或钻孔时对磨削或钻孔位置的统一，工作人员还要对晶棒进行不断的调整，调整好以后，再重新启动设备进行再次加工，由于这种方式受到人为干扰的因素非常大，而且在更换晶棒时还要停机进行取放晶棒和调整晶棒的位置，这就势必会大大降低加工的效率和提高生产的成本；不利于节能环保的实现等，由于这种方式受到人为干扰的因素非常大；例如，技工师傅的熟练程度、所用设备的加工状况等，都可能使所加工的横晶棒或竖晶棒上的孔或磨削槽很不规范，使得后期搭接工艺中接触面很小，也就是点接触或线接触，从而影响晶棒的加工品质等。那么如何提供一种用于晶棒加工时的自动装夹装置就显得尤为重要。

发明内容

为了克服背景技术中的不足，本发明所要解决的技术问题是提供一种用于晶棒加工时的自动装夹装置，本发明通过自动上料机构将晶棒输送至晶棒支撑座，然后由晶棒支撑座带动晶棒实现晶棒的夹紧与放置，避免了现有加工方法的人工长期现场盯点弊端，进一步实现了晶棒加工的机械化程度等。

为了实现上述发明的目的，本发明采用如下技术方案：

一种用于晶棒加工时的自动装夹装置，包括晶棒夹紧机构、晶棒支撑座、晶棒推送器、底板、晶棒收集器、升降器、左夹紧臂和右夹紧臂，在所述底板上面的右侧前后间隔设有至少两个右夹紧臂，在每个右夹紧臂的左边分别设有左夹紧臂，在每个左夹紧臂与右夹紧臂的内侧面分别设有晶棒左夹紧块和晶棒右夹紧块，在底板右侧的下面设有升降器，所述升降器的升降杆穿过底板并处于左夹紧臂与右夹紧臂之间，在升降杆的上端设有晶棒支撑座，所述左夹紧臂或右夹紧臂连接晶棒夹紧机构，在晶棒夹紧机构的上方设有晶棒推送器，所述晶棒推送器的推送杆端部设有晶棒推板，在晶棒推送器的上方设有自动上料机构，所述自动上料机构上晶棒接取板的右端对应晶棒支撑座，在底板的右侧设有晶棒收集器，所述晶棒收集器的进料口对应晶棒推板形成所述的用于晶棒加工时的自动装夹装置。

所述的用于晶棒加工时的自动装夹装置，所述晶棒夹紧机构包括晶棒夹紧器、推板和导向座，所述推板连接左夹紧臂的左侧面，在推板的两端分别设有导向孔，每个导向孔分别套接在导向座的导向杆上，两导向座分别设在底板上，推板左侧面的中部连接晶棒夹紧器。