[发明专利]一种用于晶棒加工时的自动装夹装置

权利要求书

1.一种用于晶棒加工时的自动装夹装置，包括晶棒夹紧机构、晶棒支撑座（3）、晶棒推送器（4）、底板（10）、晶棒收集器（11）、升降器（12）、左夹紧臂（17）和右夹紧臂（18），其特征是：在所述底板（10）上面的右侧前后间隔设有至少两个右夹紧臂（18），在每个右夹紧臂（18）的左边分别设有左夹紧臂（17），在每个左夹紧臂（17）与右夹紧臂（18）的内侧面分别设有晶棒左夹紧块（8）和晶棒右夹紧块（7），在底板（10）右侧的下面设有升降器（12），所述升降器（12）的升降杆（21）穿过底板（10）并处于左夹紧臂（17）与右夹紧臂（18）之间，在升降杆（21）的上端设有晶棒支撑座（3），所述左夹紧臂（17）或右夹紧臂（18）连接晶棒夹紧机构，在晶棒夹紧机构的上方设有晶棒推送器（4），所述晶棒推送器（4）的推送杆端部设有晶棒推板（5），在晶棒推送器（4）的上方设有自动上料机构（16），所述自动上料机构（16）上晶棒接取板（1）的右端对应晶棒支撑座（3），在底板（10）的右侧设有晶棒收集器（11），所述晶棒收集器（11）的进料口对应晶棒推板（5）形成所述的用于晶棒加工时的自动装夹装置。

2.根据权利要求1所述的用于晶棒加工时的自动装夹装置，其特征是：所述晶棒夹紧机构包括晶棒夹紧器（6）、推板（9）和导向座（22），所述推板（9）连接左夹紧臂（17）的左侧面，在推板（9）的两端分别设有导向孔，每个导向孔分别套接在导向座（22）的导向杆上，两导向座（22）分别设在底板（10）上，推板（9）左侧面的中部连接晶棒夹紧器（6）。

3.根据权利要求1所述的用于晶棒加工时的自动装夹装置，其特征是：所述晶棒夹紧机构的替换结构为晶棒夹紧机构包括晶棒夹紧器（6）、拉板和滑座，所述滑座设置为两个，两滑座分别设置在对应左夹紧臂（17）的底板（10）上，在两个滑座上分别设置右夹紧臂（18），两右夹紧臂（18）分别连接拉板，所述拉板的左侧面连接晶棒夹紧器（6）。

4.根据权利要求2或3任一权利要求所述的用于晶棒加工时的自动装夹装置，其特征是：所述晶棒夹紧器（6）通过晶棒夹紧器支撑座（13）固定在底板（10）上，晶棒夹紧器（6）为气缸，所述气缸连接气源。

5.根据权利要求1所述的用于晶棒加工时的自动装夹装置，其特征是：所述右夹紧臂（18）上设有钻头穿孔。

6.根据权利要求1所述的用于晶棒加工时的自动装夹装置，其特征是：所述晶棒左夹紧块（8）和晶棒右夹紧块（7）的内侧面分别设有用于卡接晶棒（2）的V型槽。

7.根据权利要求1所述的用于晶棒加工时的自动装夹装置，其特征是：所述晶棒支撑座（3）的上面设有用于放置晶棒（2）的V型槽。

8.根据权利要求1所述的用于晶棒加工时的自动装夹装置，其特征是：所述升降器（12）为气缸，所述气缸连接气源。

9.根据权利要求1所述的用于晶棒加工时的自动装夹装置，其特征是：所述晶棒推送器（4）通过晶棒推送器支撑座（14）固定在底板（10）上，晶棒推送器（4）为气缸，所述气缸连接气源。

10.根据权利要求1所述的用于晶棒加工时的自动装夹装置，其特征是：所述左夹紧臂（17）或右夹紧臂（18）的两端分别设有晶棒挡板。