[发明专利]坐标系建立方法、检测装置、检测设备及存储介质

说明书

本申请提供一种坐标系建立方法、检测装置、检测设备及计算机可读存储介质。坐标系建立方法包括：通过第一传感器采集待测件的二维图像、及通过第二传感器采集待测件与第二传感器之间的距离信息；根据二维图像和距离信息确定待测件的第一坐标系和待测件的标准模型的第二坐标系之间的位置偏差；及根据位置偏差和第二坐标系建立第一坐标系。本申请的坐标系建立方法中，通过采集待测件的二维图像、及待测件与第二传感器之间的距离信息，并将二维图像、距离信息与待测件的标准模型对应的信息进行对比，以确定待测件的第一坐标系与标准模型的第二坐标系之间的位置偏差，根据位置偏差和第二坐标系能够准确地建立待测件的第一坐标系。

技术领域

本申请涉及半导体检测技术领域，更具体而言，涉及一种坐标系建立方法、检测装置、检测设备及非易失性计算机可读存储介质。

背景技术

在工业检测中，需要将探测装置采集到的待测样品的信息与待测样品的标准模型中的信息进行比对，以检测待测样品是否符合标准，此时首先需要对待测样品建立坐标系，建立的坐标系需要与待测样品的标准模型中的坐标系一致，然后通过采集待测样品的信息，并与标准模型的信息进行匹配。故在检测中需要确定待测样品的坐标系，以满足检测需求。当待测样品的3D形状轮廓不规则时，如何准确地建立不规则待测样品的坐标系成为亟需解决的问题。

发明内容

本申请实施方式提供一种坐标系建立方法、检测装置、检测设备及非易失性计算机可读存储介质。

本申请实施方式的坐标系建立方法包括：通过第一传感器采集待测件的二维图像、及通过第二传感器采集所述待测件与所述第二传感器之间的距离信息；根据所述二维图像和所述距离信息确定所述待测件的第一坐标系和所述待测件的标准模型的第二坐标系之间的位置偏差；及根据所述位置偏差和所述第二坐标系建立所述第一坐标系。

本申请实施方式的检测装置包括采集模块、第一处理模块及第二处理模块。所述采集模块通过第一传感器采集待测件的二维图像、及通过第二传感器采集所述待测件与所述第二传感器之间的距离信息；所述第一处理模块根据所述二维图像和所述距离信息确定所述待测件的第一坐标系和所述待测件的标准模型的第二坐标系之间的位置偏差；及所述第二处理模块根据所述位置偏差和所述第二坐标系建立所述第一坐标系。

本申请实施方式的检测设备包括第一传感器、第二传感器及处理器。所述第一传感器用于采集待测件的二维图像，所述第二传感器用于采集所述待测件与所述第二传感器之间的距离信息；所述处理器用于：根据所述二维图像和所述距离信息确定所述待测件的第一坐标系和所述待测件的标准模型的第二坐标系之间的位置偏差；及根据所述位置偏差和所述第二坐标系建立所述第一坐标系。

本申请实施方式的非易失性计算机可读存储介质包含计算机程序，当所述计算机程序被处理器执行时，使得所述处理器执行如下方法：控制第一传感器采集待测件的二维图像、及控制第二传感器采集所述待测件与所述第二传感器之间的距离信息；根据所述二维图像和所述距离信息确定所述待测件的第一坐标系和所述待测件的标准模型的第二坐标系之间的位置偏差；及根据所述位置偏差和所述第二坐标系建立所述第一坐标系。

本申请的坐标系建立方法中，通过采集待测件的二维图像、及待测件与第二传感器之间的距离信息，并将二维图像、距离信息与待测件的标准模型对应的信息进行对比，以确定待测件的第一坐标系与标准模型的第二坐标系之间的位置偏差，根据位置偏差和第二坐标系能够准确地建立待测件的第一坐标系。

本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实施方式的实践了解到。

附图说明

本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本申请某些实施方式的坐标系建立方法的流程示意图；

图2是本申请某些实施方式的检测装置的示意图；