[发明专利]边界检测方法及相关产品有效

专利信息
申请号: 202110340977.8 申请日: 2021-03-30
公开(公告)号: CN113034527B 公开(公告)日: 2022-05-03
发明(设计)人: 法提·奥尔梅兹;刘松 申请(专利权)人: 长江存储科技有限责任公司
主分类号: G06T7/13 分类号: G06T7/13;G06T7/73
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 熊永强
地址: 430074 湖北省武汉*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 边界 检测 方法 相关 产品
【说明书】:

本申请实施例公开了一种边界检测方法及相关产品,方法包括:获取目标图像,目标图像包括第一参考边界点;获取沿第一特征线的第一方向分布的N个第三区域中每个第三区域的平均图像强度,得到N个平均强度;根据N个平均强度获取平均强度曲线;根据平均强度曲线中的平均强度最值,从平均强度曲线中获取目标平均强度;根据目标平均强度,从目标图像中获取与第一参考边界点对应的目标边界点。本申请实施例有利于提高边界检测效率和检测结果的准确性。

技术领域

本申请涉及图像处理技术领域,具体涉及一种边界检测方法及相关产品。

背景技术

ONOP沟道孔结构包括同轴嵌套的多个层,从内到外包括多晶硅通道(ONOP中的P)、隧道氧化层(ONOP中第二个O)、存储氮化物(即陷阱层,ONOP中的N)和块状氧化物(ONOP中的第一个O)。其中,在对隧道氧化层的厚度进行检测时,通常需要检测存储氮化物和隧道氧化层的边界(即N/O边界),以及检测隧道氧化层和多晶硅通道的边界(即O/P边界)。

发明内容

本申请实施例提供了一种边界检测方法及相关产品,以期提高边界检测的准确性。

第一方面,本申请实施例提供了一种边界检测方法,所述方法包括:

获取目标图像,所述目标图像包括第一参考边界点,所述第一参考边界点用于指示所述目标图像中第一区域和第二区域的相邻边界的位置;

获取沿第一特征线的第一方向分布的N个第三区域中每个第三区域的平均图像强度,得到N个平均强度,所述第一区域和第二区域包括所述N个第三区域,所述第一特征线经过所述第一参考边界点和所述N个第三区域,N为正整数;

根据所述N个平均强度获取平均强度曲线,所述平均强度曲线用于表征:所述第一区域和第二区域中沿所述第一方向上不同区域的平均图像强度;

根据所述平均强度曲线中的平均强度最值,从所述平均强度曲线中获取目标平均强度;

根据所述目标平均强度,从所述目标图像中获取与所述第一参考边界点对应的目标边界点。

第二方面,本申请实施例提供了一种边界检测装置,所述装置包括:第一获取单元、第二获取单元、第三获取单元、第四获取单元和第五获取单元,其中,

所述第一获取单元,用于获取目标图像,所述目标图像包括第一参考边界点,所述第一参考边界点用于指示所述目标图像中第一区域和第二区域的相邻边界的位置;

所述第二获取单元,用于获取沿第一特征线的第一方向分布的N个第三区域中每个第三区域的平均图像强度,得到N个平均强度,所述第一区域和第二区域包括所述N个第三区域,所述第一特征线经过所述第一参考边界点和所述N个第三区域,N为正整数;

所述第三获取单元,用于根据所述N个平均强度获取平均强度曲线,所述平均强度曲线用于表征:所述第一区域和第二区域中沿所述第一方向上不同区域的平均图像强度;

所述第四获取单元,用于根据所述平均强度曲线中的平均强度最值,从所述平均强度曲线中获取目标平均强度;

所述第五获取单元,根据所述目标平均强度,从所述目标图像中获取与所述第一参考边界点对应的目标边界点。

第三方面,本申请实施例提供一种电子设备,包括处理器、存储器、通信接口,以及一个或多个程序,所述一个或多个程序被存储在所述存储器中,并且被配置由所述处理器执行,所述程序包括用于执行本申请实施例第一方面中的步骤的指令。

第四方面,本申请实施例提供了一种计算机存储介质,存储用于电子数据交换的计算机程序,其中,所述计算机程序使得计算机执行如本实施例第一方面中所描述的部分或全部步骤。

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