[发明专利]边界检测方法及相关产品

权利要求书

1.一种边界检测方法，其特征在于，所述方法包括：

获取目标图像，所述目标图像包括第一参考边界点，所述第一参考边界点用于指示所述目标图像中第一区域和第二区域的相邻边界的位置；

获取沿第一特征线的第一方向分布的N个第三区域中每个第三区域的平均图像强度，得到N个平均强度，所述第一区域和第二区域包括所述N个第三区域，所述第一特征线经过所述第一参考边界点和所述N个第三区域，N为正整数；

根据所述N个平均强度获取平均强度曲线，所述平均强度曲线用于表征：所述第一区域和第二区域中沿所述第一方向上不同区域的平均图像强度；

根据所述平均强度曲线中的平均强度最值，从所述平均强度曲线中获取目标平均强度；

根据所述目标平均强度，从所述目标图像中获取与所述第一参考边界点对应的目标边界点；

其中，所述目标图像包括目标物体的截面图，所述目标物体包括隧道氧化层和多晶硅通道，所述第一区域包括所述隧道氧化层，所述第二区域包括所述多晶硅通道；所述第一特征线垂直于所述目标图像中两个参考边界点的连线，所述两个参考边界点为分别与所述第一参考边界点相邻的两个参考边界点；所述根据所述平均强度曲线中的平均强度最值，从所述平均强度曲线中获取目标平均强度，包括：根据第一曲线段的强度平均值和第二曲线段的强度平均值确定所述目标平均强度，所述第一曲线段为所述平均强度曲线中包括所述平均强度最值对应的最值点的曲线段，所述第二曲线段与所述第一曲线段相邻。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述目标图像中包括至少三个参考边界点，所述第一参考边界点为所述至少三个参考边界点中任一参考边界点；所述第一特征线通过如下操作确定：

根据所述至少三个参考边界点中分别与所述第一参考边界点相邻的两个参考边界点的连线，确定所述第一特征线，所述第一特征线垂直于所述两个参考边界点的连线。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述至少三个参考点通过如下操作确定：

获取初始图像，所述初始图像中包括所述相邻边界的初始标记点，所述初始标记点通过接收用户数据获得；

对所述初始标记点进行平滑处理，得到所述相邻边界的参考边界线；

获取等距分布于所述参考边界线上的所述至少三个参考边界点。

4.根据权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，所述平均强度曲线上的点在第一轴向上的坐标值用于表征所述点对应的图像区域在所述目标图像中的位置，所述根据所述平均强度曲线中的平均强度最值，从所述平均强度曲线中获取目标平均强度，包括：

获取所述平均强度曲线中第一曲线段的强度平均值，得到第一平均强度，所述第一曲线段包括所述平均强度曲线中与所述平均强度最值对应的最值点，所述第一曲线段的第一端点与所述最值点在所述第一轴向上的坐标差值为第一预设值，所述第一曲线段的第二端点与所述最值点在所述第一轴向上坐标差值为第二预设值；

获取所述平均强度曲线中第二曲线段的强度平均值，得到第二平均强度，所述第二曲线段与所述第一曲线段相邻，所述第二曲线段在所述第一轴向上的的长度为第一预设长度；

根据所述第一平均强度和所述第二平均强度确定所述目标平均强度。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述最值包括最大值。

6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

获取所述平均强度曲线中第三曲线段的强度平均值，得到第三平均强度，所述第三曲线段与所述第一曲线段相邻，所述第三曲线段在所述第一轴向上的长度为第二预设长度；

若所述第一平均强度与所述第三平均强度的差值低于第一预设阈值，则拒绝所述第一参考边界点。

7.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

若所述平均强度曲线在第四曲线段内变化非单调，则拒绝所述第一参考边界点，所述第四曲线段与所述最值点相邻，所述第四曲线段在所述第一轴向上的长度为第三预设长度。