[发明专利]检测方法、检测装置、检测设备及计算机可读存储介质

说明书

本申请公开了一种检测方法、检测装置、检测设备及及非易失性计算机可读存储介质。检测方法包括：采集工件的信息，以获取多个重复区域的多张第一图像；对多张所述第一图像中重复区域的相同位置的像素的像素值进行排序；获取预定序列位置处的像素值，以作为模板图像中对应位置的像素的像素值，以生成模板图像；及根据模板图像对待测图像进行检测，以输出检测结果。本申请实施方式的检测方法、检测装置、检测设备及非易失性计算机可读存储介质通过对多张第一图像中重复区域的相同位置的像素的像素值进行排序，获取预定序列位置处的像素值，并将该像素值作为模板图像位置对应像素的像素值，从而保证选取模板图像的准确性，保证检测结果准确。

技术领域

本申请涉及半导体检测技术领域，更具体而言，涉及一种检测方法、检测装置、检测设备及非易失性计算机可读存储介质。

背景技术

目前，为检测工件是否有缺陷，往往会通过对比待测工件的图像的平均灰度值与标 准图像的平均灰度值的差值是否超出预设灰度值，从而判断工件是否有缺陷。然而，当选取的标准图像不准确时，则会影响最终输出的检测结果，导致检测结果不准确。

发明内容

本申请实施方式提供一种检测方法、检测装置、检测设备及非易失性计算机可读存 储介质。

本申请实施方式的检测方法包括：采集工件的信息，以获取多个重复区域的多张第 一图像；对多张所述第一图像中所述重复区域的相同位置的像素的像素值进行排序；获取预定序列位置处的像素值，以作为模板图像中对应位置的像素的像素值，以生成所述 模板图像；及根据所述模板图像对待测图像进行检测，以输出检测结果。

本申请实施方式的检测装置包括采集模块、排序模块、生成模块及检测模块。所述采集模块用于所述采集模块用于采集工件的信息，以获取多个重复区域的多张第一图像；所述排序模块用于对多张所述第一图像中所述重复区域的相同位置的像素的像素值进 行排序；所述生成模块用于获取预定序列位置处的像素值，以作为所述模板图像中对应 位置的像素的像素值，以生成所述模板图像；及所述检测模块用于根据所述模板图像对 待测图像进行检测，以输出检测结果。

本申请实施方式的检测设备包括传感器和处理器。所述传感器用于采集工件的信息。 所述处理器用于获取多个重复区域的多张第一图像；对多张所述第一图像中所述重复区 域的相同位置的像素的像素值进行排序；获取预定序列位置处的像素值，以作为所述模板图像中对应位置的像素的像素值，以生成所述模板图像；及根据所述模板图像对待测 图像进行检测，以输出检测结果。

本申请实施方式的非易失性计算机可读存储介质包含计算机程序，当所述计算机程 序被一个或多个处理器执行时，使得所述处理器执行如下检测方法：采集工件的信息，以获取多个重复区域的多张第一图像；对多张所述第一图像中所述重复区域的相同位置的像素的像素值进行排序；获取预定序列位置处的像素值，以作为模板图像中对应位置 的像素的像素值，以生成所述模板图像；及根据所述模板图像对待测图像进行检测，以 输出检测结果。

本申请实施方式的电子设备的检测方法、检测装置、检测设备及非易失性计算机可 读存储介质中，处理器通过对多张第一图像中重复区域的相同位置的像素的像素值进行 排序，以获取预定序列位置处的像素值，并将预定序列位置处的像素值作为模板图像位置对应的像素的像素值，从而保证了选取的模板图像的准确性，以保证检测结果的准确性。

本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的 描述中变得明显，或通过本申请的实施方式的实践了解到。

附图说明

本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得 明显和容易理解，其中：

图1是本申请某些实施方式的检测方法的流程示意图；

图2是本申请某些实施方式的检测设备的平面示意图；

图3是本申请某些实施方式的检测装置的示意图；