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[发明专利]一种图像处理方法、装置及设备-CN201910169152.7有效
发明人：陈鲁;佟异;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2019-03-06 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：一种图像处理方法包括：提供待检测图像和参考图像；确定所述待检测图像的第一有效区和所述参考图像的第二有效区；获取所述第一有效区的第一灰度均值和第二有效区的第二灰度均值；根据所述第一灰度均值和所述第二灰度均值获取所述待检测图像和所述参考图像的第一灰阶差异；根据所述第一灰阶差异对所述参考图像或待检测图像进行灰度补偿，使第一灰度均值和第二灰度均值相同；所述灰度补偿之后，将所述参考图像与待检测图像进行比较，确定图像缺陷。通过待检测图像和参考图像的有效区的均值灰度的差异进行灰度补偿，能够有效的适应待检测图像的灰度差异，有利于提高对待检测图像的缺陷检测的精度。
一种图像处理方法装置设备

[发明专利]检测方法及检测系统、设备和存储介质-CN202111085266.7在审
发明人：陈鲁;李艳波;佟异;杨乐;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-09-16 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：一种检测方法及检测系统、设备和存储介质，方法包括：获取具有多个像素点的待处理图像；对待处理图像进行第一识别处理，获取待处理图像中满足第一阈值条件的像素点作为初始异常点；根据所述初始异常点获取异常点；选取一个或多个与异常点相邻的像素点作为周边像素点；对周边像素点进行第二识别处理，将满足第二阈值条件的周边像素点作为缺陷像素点，第二阈值条件包含第一阈值条件；在周边像素点中存在缺陷像素点的情况下，判定异常点为缺陷点，在周边像素点中不存在缺陷像素点的情况下，判定异常点为噪点。利用第二阈值条件将周边像素点进行识别，使得在周边像素点与正常像素点的差异较小的情况下仍能被检出，从而区分噪点和缺陷点。
检测方法系统设备存储介质

[发明专利]检测方法及装置、检测设备和存储介质-CN202110557047.8在审
发明人：陈鲁;肖遥;佟异;张鹏斌;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-05-21 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请提供一种检测方法、检测装置、检测设备和非易失性计算机可读存储介质。检测方法包括匹配待测图像和预设的模板图像，以获取第一图像区域；识别所述第一图像区域的连通域，以生成连通域图像；获取所述待测图像中与所述连通域图像对应的第二图像区域；比对所述第二图像区域和所述连通域图像，以检测所述待测图像的缺陷。检测方法、检测装置、检测设备和非易失性计算机可读存储介质通过对待测图像整体匹配后、再对待测图像中的每个待测部分精准匹配，可提升待测图像和模板图像的匹配效果，然后对每个待测部分和对应的连通域图像进行比对，从而确定每个待测部分的缺陷，完成待测图像的缺陷检测，检测效果较好。
检测方法装置设备存储介质

[发明专利]检测方法及装置、检测设备和存储介质-CN202110558116.7在审
发明人：陈鲁;肖遥;佟异;张鹏斌;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-05-21 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请提供一种检测方法、检测装置、检测设备和非易失性计算机可读存储介质。检测方法包括获取预设模板中与待检图像对应的第一区域图像；识别所述待检图像的线路区域，以生成第二区域图像；获取所述第一区域图像中与所述第二区域图像对应的第三区域图像；对比所述第二区域图像和所述第三区域图像，以检测所述待检图像的缺陷。检测方法、检测装置、检测设备和非易失性计算机可读存储介质通过对待检图像整体匹配后、再对待检图像中的每个待测部分精准匹配，可提升待检图像和预设模板的匹配效果，然后对每个待测部分和对应的第三区域图像进行比对，从而确定每个待测部分的缺陷，完成待检图像的缺陷检测，检测效果较好。
检测方法装置设备存储介质

[发明专利]加工方法、加工装置及非易失性计算机可读存储介质-CN202110378873.6在审
发明人：陈鲁;佟异;肖遥;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-04-08 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本申请公开了一种加工方法、加工装置及非易失性计算机可读存储介质，加工方法包括：获取机台的操作界面的显示图像，显示图像显示至少部分工件及切刀标志线，切刀标志线中的中心标识线表征切刀的切割中心线；识别显示图像中的切刀标志线中的中心标识线；获取显示图像中工件的切割中心线的位置；及移动显示图像中的中心标识线，使中心标识线与切割中心线重合，以控制切刀的切割中心线与机台上的工件的切割中心线重合。本申请在中心标识线及切割中心线的位置后，通过中心标识线使其与切割中心线重合，从而控制切刀的切割中心线与工件的切割中心线重合，使切刀总能沿应用单元之间的间隔切割，确保应用单元不受损伤。
加工方法装置非易失性计算机可读存储介质

[发明专利]缺陷检测方法和缺陷检测装置及系统-CN202210356413.8在审
发明人：陈鲁;肖遥;佟异;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2022-03-30 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明实施例公开的缺陷检测方法例如包括：获取包含待测晶圆的第一待测晶粒在内的待测晶粒图像；获取第一、第二和第三灰阶参考图像，其中，第一、第二和第三灰阶参考图像中对应位置的灰度值依次对应为第一、第二和第三灰度值，且第一灰度值不大于第二灰度值，第二灰度值不大于第三灰度值；将待测晶粒图像分别与第一灰阶参考图像和第三灰阶参考图像进行对比，得到第一待测晶粒的缺陷可疑区域；基于预设筛选信息对缺陷可疑区域进行区域筛选处理，得到第一待测晶粒的目标待测区域；以及根据目标待测区域、待测晶粒图像以及第二灰阶参考图像检测待测晶圆上的第一待测晶粒上的缺陷。本发明实施例公开的缺陷检测方法能提高微小缺陷检测的准确度。
缺陷检测方法装置系统

[发明专利]一种图像识别方法及装置-CN202111676569.6在审
发明人：陈鲁;肖遥;佟异;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种图像识别方法，包括：获取模板图像，获取模板图像中的特征点，所述特征点为梯度幅值大于第一阈值的像素点；遍历所述特征点进行筛选，将遍历到的特征点作为第一目标特征点：在以所述第一目标特征点为中心的第一大小的搜索区域内，沿所述第一目标特征点的梯度方向正向和反向的延伸方向搜索梯度幅值比所述第一目标特征点大的特征点，若搜索到，则排除所述第一目标特征点；将遍历筛选得到的所述特征点作为所述模板图像的形状轮廓。本申请还相应公开了一种图像识别装置，上述图像识别方法和装置利用细轮廓进行模板匹配，准确度高，效率更高。
一种图像识别方法装置

[发明专利]检测方法及检测装置、设备和存储介质-CN202210032703.7在审
发明人：陈鲁;李艳波;佟异;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2022-01-12 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：一种检测方法及检测装置、设备和存储介质，所述方法通过获取待检测图像，对所述待检测图像执行识别处理，获取所述待检测图像中满足相应阈值条件的像素点作为缺陷像素点，并基于所述缺陷像素点，获取所述待检测图像中存在的缺陷点。由于所采用的相应阈值条件与像素点在所述待检测图像中的位置相关，也即所述相应阈值条件随着所述待检测图像中的像素点所在位置进行变化，与采用固定的阈值条件相比，可以避免因阈值条件设置不合理所导致的误检和漏检情形的发生，相应能够更好地区分噪点和缺陷点，进而可以提高检测的准确性。
检测方法装置设备存储介质

[发明专利]检测方法及检测装置、设备和存储介质-CN202210032716.4在审
发明人：陈鲁;夏爱华;佟异;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2022-01-12 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：一种检测方法及检测装置、设备和存储介质，所述检测方法根据所获取的待处理图像中的单元图像的尺寸，对所述待处理图像执行切割道与单元图案滤除处理或切割道避开处理，可以在后续的缺陷像素点的检测过程中，消除切割道区域对检测结果造成的干扰，故可以提高缺陷像素点检测的准确性，进而可以提高缺陷检测的准确性。
检测方法装置设备存储介质

[发明专利]缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质-CN202111635507.0在审
发明人：陈鲁;肖遥;佟异;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请公开了缺陷检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质，缺陷检测设备获取待测件的检测图像；确定检测图像的待测区域；对待测区域进行二值化处理，获取二值图像；确定二值图像中边缘区域，边缘区域包括多个待测区域的白色像素点；沿第一方向或沿第二方向对边缘区域的待测像素点进行检测；确定边缘区域上每一列或每一行的特征点，当特征点的数量大于或等于预设数量时，确定特征点为待测件的缺陷。通过确定晶圆上待测区域的边缘区域，并确定边缘区域上的特征点，再根据特征点确定待测件的缺陷，能够准确的通过特征点的位置确定待测件上的缺陷类型，提高对待测件的检测准确率，避免由于检测准确率低而进行复检，提高待测件的检测效率。
缺陷检测方法装置设备计算机可读存储介质

[发明专利]尺寸检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质-CN202111635181.1在审
发明人：陈鲁;肖遥;佟异;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G06T7/60 文献下载
摘要：本申请公开了一种尺寸检测方法及相关装置，尺寸检测设备获取待测件的检测图像；根据模板图像确定检测图像中的待测区域；获取待测区域的灰度直方图；根据灰度直方图，确定二值化灰度值；根据二值化灰度值对检测图像进行二值化，获取二值图像；对二值图像沿第一方向的每一行与沿第二方向的每一列的特征像素点个数，第一方向与第二方向相垂直；根据二值图像沿第一方向以及第二方向的特征像素点个数，确定待测区域的尺寸。通过尺寸检测方法，能够准确的确定待测件上待测区域的尺寸，从而方便对待测件的尺寸进行检测，避免待测件由于尺寸过大或过小却未进行准确检测，解决了对待测件的检测效率降低的问题。
尺寸检测方法装置设备计算机可读存储介质

[发明专利]图像处理方法及相关装置-CN202111163437.3在审
发明人：陈鲁;肖遥;佟异;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请公开了图像处理方法及相关装置，所述检测设备获取待测件的原始图像；确定所述原始图像的每个像素点的灰度值；根据所述原始图像的全部像素点的灰度值确定第一阈值与第二阈值，所述第一阈值与所述第二阈值不相等；根据所述第一阈值与所述第二阈值确定目标灰度值；根据目标灰度值对所述原始图像进行二值化处理。通过确定原始图像的眯个像素点的像素值，确定用于图像处理的目标灰度值，再根据目标灰度值对图像进行二值化处理，能够避免采集图像时颜色差异导致的检测精度降低问题，从而提高了检测设备对待测件的检测准确率。
图像处理方法相关装置

[发明专利]一种图像拼接方法、装置、系统及存储介质-CN202111168449.5在审
发明人：陈鲁;肖遥;佟异;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： G06T3/40 文献下载
摘要：本发明提供一种图像拼接方法、装置、系统及存储介质，通过获取多个待拼接图像；确定所述多个待拼接图像具有至少一个重叠区域；根据重叠区域对所述多个待拼接图像进行拼接处理，得到拼接图像；获取所述重叠区域中对应重叠的各个所述待拼接图像的每个像素点的像素值；根据各个所述待拼接图像的重叠区域的像素点的像素值，确定所述拼接图像中与所述重叠区域对应的像素点的像素值。可见，拼接图像的对应重叠区域中的像素点的像素值依据与对应重叠的各个待拼接图像的像素值，各个待拼接图像均提供了相应的权重，使得拼接图像中的对应重叠区域与其他区域的颜色过渡均匀。
一种图像拼接方法装置系统存储介质

[发明专利]一种检测方法、装置以及存储介质-CN202111168471.X在审
发明人：陈鲁;肖遥;佟异;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-09-29 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： G06T5/40 文献下载
摘要：本发明提供了一种检测方法、装置以及存储介质，由于获取待检测图像以及与待检测图像相邻的至少两个对比图像；获取待检测图像与对比图像的差分图像；根据差分图像的灰度直方图，对差分图像进行二值化处理，得到差分图像的二值化图像；将至少两个二值化图像进行相与处理，得到待检测图像的二值化图像；根据预设缺陷面积阈值，确定待检测图像的二值化图像中面积大于或等于预设缺陷面积阈值的缺陷，得到缺陷检测结果。可见，通过两个对比图像形成两个差分图像，并通过两个差分图像二值化图像相与的方式得到待检测图像的二值化图像，减少对待检测图像进行二值化处理的复杂计算，并实现在无模板图像的前提下进行缺陷检测。
一种检测方法装置以及存储介质

[发明专利]缺陷检测方法及相关装置-CN202111160510.1在审
发明人：陈鲁;肖遥;佟异;张嵩 -专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本申请公开了缺陷检测方法及相关装置，缺陷检测检测设备获取待测件的原始图像；根据第一预设阈值与第二预设阈值对原始图像进行二值化处理，并得到二值化图像；根据预设模板图像对二值化图像处理，并得到检测图像；确定检测图像中缺陷特征的缺陷面积；当缺陷面积大于预设面积时，确定缺陷特征在原始图像中的相对位置；当缺陷特征位于预设模板图像的第一模板区域时，确定待测件为缺陷件。通过对原始图像根据不同的阈值进行二值化处理，能够避免颜色差异导致的检测精度降低问题，并且通过判断检测图像中的缺陷面积以及缺陷特征的相对位置，确定待测件是否为缺陷件，避免待测件的图像采集颜色不同造成的缺陷确定错误，提高了待测件的检测准确率。
缺陷检测方法相关装置

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