[发明专利]偏心量测装置及其量测方法在审
申请号: | 202110332085.3 | 申请日: | 2021-03-29 |
公开(公告)号: | CN113074915A | 公开(公告)日: | 2021-07-06 |
发明(设计)人: | 施宏欣;吴朵朵 | 申请(专利权)人: | 业成科技(成都)有限公司;业成光电(深圳)有限公司;业成光电(无锡)有限公司;英特盛科技股份有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G01M11/04 |
代理公司: | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人: | 杨冬梅;张行知 |
地址: | 611730 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 偏心 装置 及其 方法 | ||
本发明提供了一种偏心量测装置,利用一真空系统将一固定机构的抽气通道内的空气抽出,以使位在该抽气通道上方的镜组可被固定在该固定机构上。由于该偏心量测装置在进行量测时,无需将该镜组翻面,因此只需要量测一次该镜组的光轴,所以该偏心量测装置的量测速度较快,量测的精准度也较高。
技术领域
本发明是有关一种偏心量测装置其量测方法,特别是关于一种无需将镜组翻面即可量测的偏心量测装置其量测方法。
背景技术
在由多个透镜组成的镜组中,多个透镜的非球面轴是否精准对位,会影响成像的质量,因此需要偏心量测装置来量测镜组中多个透镜的非球面轴,以计算镜组的偏心状态资讯,进而判断多个透镜的非球面轴是否精准对位。
图1及图2显示传统的偏心量测装置10及其量测方法。偏心量测装置10包括一机台102、固定机构104及距离感测器106。固定机构104是设置在机台102上,用以放置待量测的镜组12。为了防止镜组12在量测期间滑动或掉落,固定机构104具有凸出部1042来固定镜组12。距离感测器106包括一本体1062及一感测单元1064,其中感测单元1064的侦测方向X1平行于本体1062。参照图1,当镜组12放置到固定机构104上后,偏心量测装置10会先量测镜组12的光轴Sm,其中镜组12包含一前端透镜122及一后端透镜124。接着,距离感测器106移动到默认位置以对准镜组12的前端透镜122,并量测出前端透镜122的顶点1222。在取得前端透镜122的顶点1222后,固定机构104以一旋转轴Sr为中心进行旋转,而镜组12会随着固定机构104的旋转而转动。当镜组12旋转一圈后,距离感测器106可以侦测到前端透镜122的凸面表面,以取得前端透镜122的第一非球面轴S1,进而计算出前端透镜122的第一非球面轴S1与镜组12的光轴Sm的差值。在前端透镜122完成量测后,接着需要量测后端透镜124。然而,由于固定机构104的凸出部1042的阻碍,距离感测器106无法直接从下方量测后端透镜124,而且镜组12与机台102也没有足够的空间可以容纳距离感测器106,因此必须先将镜组12翻面后才能量测后端透镜124,如图2所示。
在图2中,当镜组12翻面后,由于光轴Sm的方向会改变,因此偏心量测装置10会再次量测镜组12的光轴Sm。接着,距离感测器106会移动到默认位置以对准镜组12的后端透镜124,并量测出后端透镜122的顶点1222。在取得后端透镜124的顶点1242后,固定机构104再次进行旋转以使镜组12旋转。当镜组12旋转一圈后,距离感测器106可以侦测到后端透镜122的凹面表面,以取得后端透镜124的第二非球面轴S2,进而计算出前端透镜124的第二非球面轴S2与镜组12的光轴Sm的差值。在取得第一非球面轴S1与光轴Sm的差值以及第二非球面轴S2与光轴Sm的差值后,将此二个差值进行换算,即可得到前端透镜122的第一非球面轴S1与后端透镜124的第二非球面轴S2的误差值Δ1,以判断对位精确性,如图3所示。
传统的偏心量测装置10必需将镜组12翻面才可以量测到后端透镜124的第二非球面轴S2,因此镜组12的光轴Sm需要量测二次,这导致量测时间较长。此外,前后二次量测到的光轴Sm可能会有误差,也就是说,前后二次量测到的光轴Sm可能不同,这导致计算出的对位精确性也可能出现误差。另一方面,翻面的操作目前仍难以自动化,因此传统的偏心量测装置10无法自动化量测,导致产能不足。
发明内容
本发明的目的之一,在于提出一种无需将镜组翻面即可量测的偏心量测装置其量测方法。
本发明的目的之一,在于提出一种减少量测时间的偏心量测装置其量测方法。
根据本发明,一种偏心量测装置,包括一机台、一固定机构、一真空系统及一量测模组。该固定机构设置在该机台上,用以放置及固定一镜组。该固定机构包含一抽气信道,该抽气信道具有互相连通的一第一开口及一第二开口。该镜组是放置在该第一开口。该真空系统连接该第二开口,用以在一固定程序时抽取该抽气通道内的空气,以使该镜组被吸附在该固定机构上。该量测模组在该固定机构的一侧,用以在一量测程序时计算该镜组的一偏心状态资讯。
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