[发明专利]偏心量测装置及其量测方法

权利要求书

1.一种偏心量测装置，用于量测镜组，其特征在于，所述偏心量测装置包括：

机台；

固定机构，设置在所述机台上，其中所述固定机构包含抽气通道，且所述抽气通道具有互相连通的第一开口及第二开口；

真空系统，连接所述第二开口，在固定程序时抽取所述抽气通道的空气；以及

量测模组，在所述固定机构的一侧，在量测程序时计算所述镜组的偏心状态资讯。

2.如权利要求1的偏心量测装置，其特征在于，其中所述固定机构为圆柱状、方柱状或角柱状。

3.如权利要求1的偏心量测装置，其特征在于，更包括定位机构设置在所述固定机构上，其中所述定位机构在定位程序时校正所述镜组的位置。

4.如权利要求3的偏心量测装置，其特征在于，其中所述定位机构包括多个定位片设置在所述固定机构上。

5.如权利要求3的偏心量测装置，其特征在于，其中所述定位机构包括：

底座，设置在所述固定机构上；以及

多个定位片，设置在所述底座上。

6.如权利要求1的偏心量测装置，其特征在于，其中所述量测模组包括：

距离感测器；以及

移动机构，连接所述机台及所述距离感测器，用以移动所述距离感测器的位置。

7.如权利要求6的偏心量测装置，其特征在于，其中所述距离感测器包括：

本体；以及

感测单元，连接所述本体；

其中，所述感测单元的侦测方向与所述本体的夹角为0°～90°。

8.一种偏心量测装置的量测方法，其特征在于，包括下列步骤：

A.将镜组放置在固定机构的抽气通道的第一开口，其中所述镜组包含前端透镜及后端透镜；

B.从所述抽气通道的第二开口抽取空气，以使所述镜组被吸附在所述固定机构；

C.量测所述镜组的光轴、所述前端透镜的第一非球面轴以及所述后端透镜的第二非球面轴；以及

D.依据所述第一非球面轴与所述光轴的差值以及所述第二非球面轴与所述光轴的差值，计算出所述镜组的偏心状态资讯。

9.如权利要求8的量测方法，其特征在于，其中所述步骤B更包括：

在抽取空气之前，利用定位机构校正所述镜组的位置；以及

在所述抽气通道的空气被抽取后，移除或移开所述定位机构。

10.如权利要求8的量测方法，其特征在于，其中所述步骤C包括：

量测所述光轴；

旋转所述镜组以使距离感测器侦测前端透镜的表面，以取得所述第一非球面轴；

计算所述第一非球面轴与所述光轴的差值；

在取得所述第一非球面轴后，再次旋转所述镜组以使所述距离感测器侦测后端透镜的表面，以取得所述第二非球面轴；以及

计算所述第二非球面轴与所述光轴的差值。

11.如权利要求8的量测方法，其特征在于，其中所述步骤C包括：

量测所述光轴；

旋转所述镜组以使第一距离感测器及第二距离感测器分别侦测前端透镜的表面及所述后端透镜的表面，以取得所述第一非球面轴及所述第二非球面轴；以及

计算所述第一非球面轴与所述光轴的差值以及计算所述第二非球面轴与所述光轴的差值。