[发明专利]一种靶材自动切割装置及其使用方法

说明书

本发明提供了一种靶材自动切割装置及其使用方法，所述靶材自动切割装置包括依次连接的上料设备、上料称重设备、切断设备、下料称重设备以及标签打印设备；所述上料设备包括上料架和第一阻位器；所述上料架的表面朝所述上料称重设备的方向向下倾斜；所述第一阻位器设置于与上料称重设备相连接的一端；所述上料称重设备包括支撑架、第一称重器、第二阻位器和滚轴；所述第一称重器穿插设置于所述支撑架中；所述第二阻位器与所述滚轴相互垂直设置于所述支撑架上，所述滚轴的滚动方向与上料方向水平垂直；所述切割装置集自动上料、自动称重、自动切割以及自动打印标签为一体，有效提高了切割效率，减少人工干预，具有较好的工业应用前景。

技术领域

本发明属于靶材制备技术领域，具体涉及一种靶材自动切割装置及其使用方法。

背景技术

随着我国科学技术的日益发展，半导体工艺的应用也越来越广泛，因此靶材的需求量也逐渐增加。在靶材生产过程中，重要的一道工序是机加工，主要使用切割机进行加工。目前市场上切割机主要存在以下问题：(1)实际应用型单一；(2)操作程序较为复杂；(3)加工效率低；(4)对加工材料造成损坏。对以上情况，设计开发一种实用高效、一体化操作的靶材自动切割机，成为当前亟待解决的问题。

CN208645715U公开了一种靶材切割机，包括框架、冷却组件、Z轴工作组件、Y轴工作组件、真空吸附组件、模具组件、腐蚀组件、打磨组件、机械手组件和切割组件。CN208866596U公开了一种金属靶材自动切割装置，该切割装置包括操作台，操作台的顶端开设有移料槽，移料槽的内侧固定安装有齿轮安装架，齿轮安装架的内侧通过转轴转动连接有齿轮，齿轮的一侧通过转轴转动连接有送料马达，齿轮的顶端啮合连接有排齿板，排齿板的顶端固定连接有操作板，操作台的顶端设置有主切割架和辅切割架述切割架的顶端设置有切割电机，切割电机的一侧连接有丝杠，丝杠的末端通过轴承转动连接有辅切割架。

上述切割装置虽然可有效的提高切割精度，但其仅能实现切割功能，而对于上料、材料称重以及标签区分均需人工操作，成本较高，时间较长，且容易损坏靶材，从而降低切割的合格率。

综上所述，如何提供一种方便高效、全自动一体化操作的靶材切割机，减少人工干预，成为当前急迫需要解决的问题。

发明内容

针对现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种靶材自动切割装置及其使用方法，所述切割装置集自动上料、自动称重、自动切割以及自动打印标签为一体，有效提高了切割效率，减少人工干预，具有较好的工业应用前景。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一方面，本发明提供了一种靶材自动切割装置，所述靶材自动切割装置包括依次连接的上料设备、上料称重设备、切断设备、下料称重设备以及标签打印设备；

所述上料设备包括上料架和第一阻位器；所述上料架的表面朝所述上料称重设备的方向向下倾斜；所述第一阻位器设置于与上料称重设备相连接的一端；

所述上料称重设备包括支撑架、第一称重器、第二阻位器和滚轴；所述第一称重器穿插设置于所述支撑架中；所述第二阻位器与所述滚轴相互垂直设置于所述支撑架上，所述滚轴的滚动方向与上料方向水平垂直。

本发明中，第一阻位器可通过电路控制其上下伸缩；上料设备通过斜面与第一阻位器的配合来精准控制每枚靶材的上料，所述上料设备上可同时存放10～15枚靶材，节省上料时间。

本发明中，上料称重设备集称重功能与运输功能为一体，可精准称量每枚靶材的重量，之后将其自动运送到切断设备之中，避免人工搬运，有效保护靶材。

以下作为本发明优选的技术方案，但不作为本发明提供的技术方案的限制，通过以下技术方案，可以更好地达到和实现本发明的技术目的和有益效果。

作为本发明优选的技术方案，所述上料称重设备的称重上限为1吨。