[发明专利]半导体设备及外点火装置的温度控制系统、方法及控制器

权利要求书

1.一种半导体设备中外点火装置的温度控制系统，用于在向外点火装置通入气体时将所述外点火装置温度调节至所述气体的点火温度，其特征在于，包括温度控制器、温控执行器及温度传感器，其中：

所述温度传感器用于检测所述外点火装置的实际温度，并将所述实际温度发送至所述温度控制器；

所述温度控制器用于获取所述外点火装置的气体流量，并根据所述气体流量和所述实际温度与目标温度之间的温度偏差确定向所述外点火装置施加的功率，并将所述功率发送至所述温控执行器；

所述温控执行器与所述外点火装置连接，用于根据接收到的所述功率对所述外点火装置进行加热；

其中，所述温度控制器，具体用于：

根据所述外点火装置的历史气体流量、历史温度偏差和预设的模糊论域，对所述气体流量和所述温度偏差进行模糊化，得到模糊流量和模糊温度偏差；

基于所述模糊流量和所述模糊温度偏差确定向所述外点火装置施加的模糊功率；具体采用以下公式确定向所述外点火装置施加的模糊功率：

U1＝αE1+(1-α)F1，α∈[0，1]

其中，U1代表模糊功率，E1代表模糊温度偏差，F1代表模糊流量，α代表E1权重，(1-α)代表F1的权重，*代表取绝对值大于等于|*|的最小正整数；

根据向所述外点火装置施加的历史功率和所述预设的模糊论域，将所述模糊功率去模糊化，以得到向所述外点火装置施加的功率。

2.根据权利要求1所述的温度控制系统，其特征在于，所述温度控制器，具体用于：

根据所述历史气体流量得到实际流量数据集，根据所述历史温度偏差得到实际温差数据集；

根据所述实际流量数据集和所述预设的模糊论域确定所述气体流量对应的第一模糊量化因子，根据所述实际温差数据集和所述预设的模糊论域确定所述温度偏差对应的第二模糊量化因子；

根据所述第一模糊量化因子对所述气体流量进行模糊化，得到模糊流量，根据所述第二模糊量化因子对所述温度偏差进行模糊化，得到模糊温度偏差。

3.根据权利要求1所述的温度控制系统，其特征在于，当所述外点火装置的实际温度达到预设阈值时，所述α大于0且小于0.5；当所述外点火装置的温度未达到所述预设阈值时，所述α大于或等于0.5且小于1，其中，所述预设阈值小于所述目标温度的值。

4.根据权利要求1所述的温度控制系统，其特征在于，所述温度控制器，具体用于：

根据向所述外点火装置施加的历史功率和所述预设的模糊论域，确定比例因子；

将所述模糊功率除以所述比例因子，得到向所述外点火装置施加的功率。

5.一种半导体设备，包括外点火装置，其特征在于，还包括权利要求1-3任意一项所述的温度控制系统，所述温度控制系统用于对所述外点火装置进行加热。

6.一种温度控制方法，其特征在于，应用于权利要求1-3任意一项所述的半导体设备中外点火装置的温度控制系统，所述方法包括：

确定向所述外点火装置通入的气体流量，以及所述外点火装置的目标温度值与实际温度值的温度偏差；

根据所述气体流量和所述温度偏差确定向所述外点火装置施加的功率，根据所述功率对所述外点火装置进行加热；

其中，所述根据所述气体流量和所述温度偏差确定向所述外点火装置施加的功率，包括：根据所述外点火装置的历史气体流量、历史温度偏差和预设的模糊论域，对所述气体流量和所述温度偏差进行模糊化，得到模糊流量和模糊温度偏差；

基于所述模糊流量和所述模糊温度偏差确定向所述外点火装置施加的模糊功率；具体采用以下公式确定向所述外点火装置施加的模糊功率：

U1＝αE1+(1-α)F1，α∈[0，1]

其中，U1代表模糊功率，E1代表模糊温度偏差，F1代表模糊流量，α代表E1权重，(1-α)代表F1的权重，*代表取绝对值大于等于|*|的最小正整数；

根据向所述外点火装置施加的历史功率和所述预设的模糊论域，将所述模糊功率去模糊化，以得到向所述外点火装置施加的功率。