[发明专利]一种适用于ICP-OES的CrSi合金制样方法在审

专利信息
申请号: 202110315789.X 申请日: 2021-03-24
公开(公告)号: CN113063642A 公开(公告)日: 2021-07-02
发明(设计)人: 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;俞晗 申请(专利权)人: 宁波江丰电子材料股份有限公司
主分类号: G01N1/28 分类号: G01N1/28;G01N1/44;G01N21/73
代理公司: 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 代理人: 王岩
地址: 315400 浙江省宁波市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 适用于 icp oes crsi 合金 方法
【权利要求书】:

1.一种适用于ICP-OES的CrSi合金制样方法,其特征在于,所述CrSi合金制样方法包括如下步骤:混合CrSi合金靶材与混合酸,再加热至90-100℃保温,加热与保温的总时间为40-60min,得到样品溶液;

所述混合酸为体积比(1-3):(1-3)组成的盐酸与氢氟酸,所述盐酸的浓度为36-38wt%,所述氢氟酸的浓度为35-38wt%。

2.根据权利要求1所述的CrSi合金制样方法,其特征在于,所述CrSi合金靶材与混合酸的固液比为1:(70-90),所述固液比的单位为g/mL。

3.根据权利要求1或2所述的CrSi合金制样方法,其特征在于,所述CrSi合金靶材中Cr的质量百分含量为83-86wt%。

4.根据权利要求1-3任一项所述的CrSi合金制样方法,其特征在于,所述加热与保温时伴随搅拌和/或超声。

5.根据权利要求4所述的CrSi合金制样方法,其特征在于,所述搅拌包括依次进行的第一搅拌与第二搅拌;

优选地,所述第一搅拌的转速为200-400r/min;

优选地,所述第二搅拌的转速为400-600r/min。

6.根据权利要求4或5所述的CrSi合金制样方法,其特征在于,所述超声包括依次进行的第一超声与第二超声;

优选地,所述第一超声的功率为200-400W;

优选地,所述第二超声的功率为500-800W。

7.根据权利要求6所述的CrSi合金制样方法,其特征在于,所述第一超声伴随第一搅拌进行,所述第二超声伴随第二搅拌进行。

8.根据权利要求7所述的CrSi合金制样方法,其特征在于,所述第一搅拌的时间为20-30min;

优选地,所述第二搅拌的时间为20-30min。

9.根据权利要求1-8任一项所述的CrSi合金制样方法,其特征在于,所述加热的时间为30-40min;

优选地,所述保温的时间为10-30min。

10.根据权利要求1-9任一项所述的CrSi合金制样方法,其特征在于,所述CrSi合金制样方法包括如下步骤:混合CrSi合金靶材与混合酸,再加热至90-100℃保温,加热的时间为30-40min,保温的时间为10-30min,加热与保温的总时间为40-60min,得到样品溶液;

所述混合酸为体积比(1-3):(1-3)组成的盐酸与氢氟酸,所述盐酸的浓度为36-38wt%,所述氢氟酸的浓度为35-38wt%;

所述CrSi合金靶材与混合酸的固液比为1:(70-90),所述固液比的单位为g/mL;

所述加热与保温时伴随搅拌与超声;搅拌包括依次进行的第一搅拌与第二搅拌;所述超声包括依次进行的第一超声与第二超声;所述第一超声伴随第一搅拌进行,所述第二超声伴随第二搅拌进行;

所述第一搅拌的转速为200-400r/min,时间为20-30min;第二搅拌的转速为400-600r/min,时间为20-30min;

所述第一超声的功率为200-400W,第二超声的功率为500-800W。

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