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[发明专利]光学发射光谱仪的校准器-CN201910160116.4在审
发明人：文丁一;李衡周;宣钟宇;具滋明;黄载雄;安宗焕 -专利权人：三星电子株式会社;细美事有限公司
申请日： 2019-03-04 - 公布日： 2019-10-11 - 主分类号： G01N21/63 文献下载
摘要：提供了一种光学发射光谱仪(OES)的校准器。该OES的校准器可以包括盖、参考光源和控制器。盖可以与等离子体处理设备的等离子体腔室的顶板可拆卸地结合。参考光源可以安装在盖处，以通过等离子体腔室的内部空间向OES照射参考光。控制器可以将入射到OES的参考光的光谱与在等离子体腔室中的等离子体处理期间输入到OES的实际光的光谱进行比较以校准OES。因此，可以在不从等离子体室拆卸OES的情况下校准OES，以减少用于校准OES的时间。
等离子体腔室校准校准器参考光源控制器参考光光谱等离子体处理设备等离子体处理光学发射光谱等离子体室光谱仪光学发射可拆卸入射拆卸照射

[发明专利]用于校准光发射光谱仪的方法-CN202080031181.8在审
发明人：劳建邦;劳拉·郝勒查克;马尔科姆·J·贝文;特里萨·克莱默·瓜里尼;刘炜;黄明绿 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-03-27 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： G01J3/28 文献下载
摘要：于此描述的一个或多个实施方式大体关于用于校准用于处理半导体基板的光发射光谱仪(OES)的系统和方法。在于此的实施方式中，将灯具安装到处理腔室内的板上。光源位于灯具内，使得光源提供直接投射在窗口处的光路，OES通过窗口观察处理腔室中以进行读取。当光源打开时，OES测量来自光源的辐射的光强度。为了校准OES，比较在两个不同时间的在打开光源时光源的光强度。若在第一时间的辐射的光强度与在第二时间的辐射的光强度不同，则修改OES。
用于校准发射光谱仪方法

[发明专利]用于原子层蚀刻(ALE)的终点检测算法-CN201780053849.7在审
发明人：陈艳;田新康;贾森·弗恩斯 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-08-31 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本文描述的是用于确定从等离子体处理系统获取的光发射光谱(OES)数据的终点的架构、平台和方法。所述OES数据例如包括吸附步骤过程、解吸步骤过程或其组合。在该示例中，所述OES数据在终点确定之前经受信号同步和瞬态信号滤波，这可以通过应用移动平均滤波器来实现。
步骤过程等离子体处理系统蚀刻光发射光谱平均滤波器瞬态信号信号同步应用移动终点检测终点确定原子层解吸滤波吸附算法架构

[发明专利]一种CuMn合金ICP-OES分析的制样方法-CN202110221161.3在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;俞晗 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： G01N1/30 文献下载
摘要：本发明提供一种CuMn合金ICP‑OES分析的制样方法，所述CuMn合金ICP‑OES分析的制样方法包括：混合CuMn合金和酸溶液，再加热至90～100℃保温，所述加热和保温共6～12min，得到样品溶液所述制样方法弥补了CuMn合金进行ICP‑OES分析时制样的空白，且采用酸溶液溶解即可，溶解时间短，ICP‑OES测试准确，应用前景广阔。
一种 cumn 合金 icp oes 分析方法

[发明专利]一种用ICP-OES法测定TC31材料中多元素含量的方法-CN201910778421.X有效
发明人：苏晓文;张剑军;夏炎;满玉 -专利权人：北京星航机电装备有限公司
申请日： 2019-08-22 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： G01N21/73 文献下载
摘要：本发明属于理化检测技术领域，具体涉及一种用ICP‑OES法测定TC31材料中多元素含量的方法。该方法包括制备试样溶液、制备系列标准溶液和ICP‑OES检测。本发明在设定的ICP‑OES工作条件下，依次测定空白溶液和系列标准溶液中相关元素的光谱强度，建立工作曲线；然后将试样溶液引入ICP‑OES仪器，测定试样溶液各元素所对应的发射光强度，根据工作曲线计算试样中相关元素的含量
试样溶液标准溶液工作曲线多元素制备空白溶液理化检测有效检测发射光质量控制光谱引入检测应用

[发明专利]一种用ICP-OES法测定Cr12MoV材料中多元素含量的方法-CN201910778430.9有效
发明人：张剑军;苏晓文;夏炎;满玉 -专利权人：北京星航机电装备有限公司
申请日： 2019-08-22 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： G01N21/73 文献下载
摘要：本发明属于理化检测技术领域，具体涉及一种用ICP‑OES法测定Cr12MoV材料中多元素含量的方法。该方法包括制备试样溶液、制备系列标准溶液和ICP‑OES检测。本发明在设定的ICP‑OES工作条件下，依次测定空白溶液和系列标准溶液中相关元素的光谱强度，建立工作曲线；然后将试样溶液引入ICP‑OES仪器，测定试样溶液各元素所对应的发射光强度，根据工作曲线计算试样中相关元素的含量
试样溶液标准溶液工作曲线多元素制备空白溶液理化检测有效检测发射光质量控制光谱引入检测应用

[发明专利]一种采用ICP-OES快速测定高硅铝合金中Si元素含量的方法-CN202211110709.8在审
发明人：龙开琳;何美琪;黄毅;刘风坤;崔博文;罗忠琴;陈志豪;杨志强 -专利权人：贵阳职业技术学院
申请日： 2022-09-13 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G01N21/73 文献下载
摘要：本发明公开了一种采用ICP‑OES精确测定高硅铝合金中Si元素含量的方法，其包括以下步骤：A、采用简化式碱法快速消解试样，获得待测试样溶液;B、采用简化式碱法快速消解标准试样块粉末，获得系列标准溶液；C、将系列标准溶液引入ICP‑OES设备中，根据标准溶液设定ICP‑OES设备的最佳参数，选定2‑5个检测对应Si元素的波长，测定系列标准溶液中Si元素的强度，得到系列标准溶液曲线；D、查看标准曲线数据,根据光强度和浓度的关系计算机自动给出实测获得的已知标准溶液中Si含量数据;E、判定按步骤C的方法开始测定待测的试样溶液，本发明通过对现有ICP‑OES技术测定铝及铝合金中Si元素含量的方法进行改进，提出了新的快速消解试样方法，使ICP‑OES测试结果的准确度更高、稳定性更好。
一种采用 icp oes 快速测定铝合金 si 元素含量方法

[发明专利]电解质组合物及使用方法-CN202080059017.8在审
发明人：朱丽叶·尼娜·罗克珊·维尔姆斯;哈维尔·马丁-特雷索·洛佩斯 -专利权人：纽崔克IP资产有限公司
申请日： 2020-07-29 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： A61K33/14 文献下载
摘要：本发明涉及口服电解质溶液(OES)，特别是用于犊牛的OES的领域。特别地，本发明涉及在遭受腹泻的犊牛中减少腹泻、减少体重损失、减少粪便水分损失和/或改善血液酸碱平衡的领域。
电解质组合使用方法

[发明专利]ICP‑OES法分析煤灰中六价铬含量的方法-CN201710002671.5在审
发明人：闫玉乐;张杰芳;张海侠;焦发存;胡云虎;周博涵;夏承莉;蒋旭;张帅;刘衢州;张晔;张雯;王宇;鲍继伦 -专利权人：淮南市产品质量监督检验所
申请日： 2017-01-03 - 公布日： 2017-05-31 - 主分类号： G01N21/73 文献下载
摘要：本发明提供一种ICP‑OES法分析煤灰中六价铬含量的方法，涉及分析测试方法技术领域，本发明方法包括煤灰样品微波碱消解、共沉淀分离三价铬、ICP‑OES测定六价铬含量。本发明ICP‑OES法分析煤灰中六价铬含量的方法，具有分析速度快、灵敏度高、准确度和精密度较高、基体干扰小、线性范围广等特点，回收率平均值达到87.2％，检出限低至0.00033μg/ml。
icp oes 分析煤灰中六价铬含量方法

[发明专利]利用ICP-OES法测定唑啉草酯产品中钯元素残留量的方法-CN201910215448.8在审
发明人：黄栋;雷珊 -专利权人：利尔化学股份有限公司
申请日： 2019-03-21 - 公布日： 2019-05-24 - 主分类号： G01N21/73 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用ICP‑OES法测定唑啉草酯产品中钯元素残留量的方法，利用由浓盐酸与浓硝酸组成的混合酸溶解唑啉草酯样品制得待测液，再利用ICP‑OES法对所述待测液进行检测并测得唑啉草酯产品中的钯元素残留量与现有技术相比，本发明利用ICP‑OES法测定唑啉草酯产品中钯元素残留量的方法采用普通硝解的前处理方法使样品快速分解，减少微波消解的处理时间并提高工作效率，再结合电感耦合等离子发射光谱仪(ICP‑OES
唑啉草酯残留量钯元素待测液电感耦合等离子发射光谱仪混合酸溶解工作效率快速分解微波消解浓硝酸浓盐酸前处理再利用检测硝解

[实用新型]一种等离子反应工艺气体加热装置-CN202221004370.9有效
发明人：万永东;漆宏俊 -专利权人：上海稷以科技有限公司
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等离子反应工艺气体加热装置，包括MFC质量控制流量计、气体管路、储气装置、加热装置、OES侦测器和控制器，所述MFC质量控制流量计通过气体管路连接至工艺腔体顶部，所述储气装置设置在气体管路，所述储气装置上设有加热装置，所述OES侦测器安装在工艺腔体一侧开口处，所述OES侦测器与控制器连接，控制器连接加热装置。本实用新型与现有技术相比的优点是：本实用新型利用OES侦测器、温控器及加热装置的配合来控制气体管路中的气体温度，进而稳定调节控制腔体内部的等离子反应强度。
一种等离子反应工艺气体加热装置

[发明专利]用于夹杂物分析的方法和系统-CN202010218468.3在审
发明人： J-M.博伦;C.G.范比克 -专利权人： FEI公司
申请日： 2020-03-25 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： G01N21/63 文献下载
摘要：作为一个实例，可以基于由光发射光谱（OES）系统和带能量色散X射线光谱法的带电粒子显微镜（CPM/EDX）系统两者确定的第一样品的夹杂物特性来生成校正因子。可以利用所述校正因子来校准所述OES系统。可以使用经过校准的OES系统确定不同的第二样品的夹杂物特性。
用于夹杂分析方法系统

[发明专利]一种动车组智能检修系统及控制方法-CN202010807956.8在审
发明人：王鹞芝;任铁军;王梦瑶;李清峰;孙统霖;贺文;熊颉;陈天喜;陈明奎;林才轩;李孝兵;武松剑 -专利权人：株洲中车时代电气股份有限公司
申请日： 2020-08-12 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： G06Q10/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种动车组智能检修系统及控制方法，其中检修系统包括多个试验台、CI模块流水线、中间数据库服务器、OES系统、OA系统、PLM系统、ERP系统和MRO系统；各个试验台均与中间数据库服务器和OES系统相连；CI模块流水线包含多个完成不同工序的工位；中间数据库服务器用于存储各个试验台的数据信息；OES系统分别与OA系统、PLM系统、ERP系统和MRO系统相连；OA系统用于查询OES系统中数据分析报表
一种车组智能检修系统控制方法

[发明专利]氧化钐中氧化钙含量的测定方法-CN202211332497.8在审
发明人：罗芝雅;刘荣丽;王贵超;罗勉;石雪峰 -专利权人：湖南稀土金属材料研究院有限责任公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G01N21/73 文献下载
摘要：本发明涉及一种氧化钐中氧化钙含量的测定方法，包括如下步骤：提供氧化钐试样，用酸液溶解，得到氧化钐试样溶液；采用氨水将氧化钐试样溶液的pH值调至9～11，固液分离，取上清液，采用ICP‑OES进行测定；提供多种具有不同钙离子浓度的钙离子标准溶液，采用ICP‑OES分别测定多种钙离子标准溶液中钙离子的发射强度，得到发射强度与钙离子浓度的标准曲线方程；根据标准曲线方程，计算得到氧化钐试样中的氧化钙含量。上述氧化钐中氧化钙含量的测定方法，采用ICP‑OES法获得发射强度与钙离子浓度的标准曲线方程，以及采用ICP‑OES法测定氧化钐试样的发射强度，再根据标准曲线方程，计算得到氧化钐试样中的氧化钙含量。
氧化氧化钙含量测定方法

[发明专利]一种适用于ICP-OES的CuAl合金制样方法-CN202110419315.X在审
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;俞晗 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-04-19 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明提供了一种适用于ICP‑OES的CuAl合金制样方法，所述CuAl合金制样方法包括如下步骤：混合CuAl合金靶材与混合酸，保温8‑10min，得到样品溶液；所述混合酸为体积比1:(1.8‑2.2)所述CuAl合金制样方法能够在10min之内完全溶解CuAl合金靶材，溶解效率高，且溶解后不影响ICP‑OES的测试，填补了CuAl合金靶材进行ICP‑OES测试时的制样空白。
一种适用于 icp oes cual 合金方法

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