[发明专利]一种半导体测试探针用带有法兰止位的探针套筒

说明书

本公开公开一种半导体测试探针用带有法兰止位的探针套筒，属于半导体测试探针领域，一种半导体测试探针用带有法兰止位的探针套筒,包括第一套筒、第二套筒、第一顶针和第一法兰，通过采用两级套筒结构，是探针的调整空间更大，方便满足不同工况下的使用，并将两个弹簧的上端的抵触块都设置成可以活动的滑块使其可以根据工况调整探针位置和测试点的抵触力大小。

技术领域

本公开属于半导体测试探针领域，具体涉及一种半导体测试探针用带有法兰止位的探针套筒。

背景技术

探针卡为半导体工艺中常使用于检测电路的元件，其内排列设置有多个探针，探针的排列位置与此探针卡欲检测的待测电路板上的电路配置相对应。探针卡通常设置在一检测机台之上，待测电路板以一工具夹持并且压制于探针上。因此使得各探针导通待测电路板上的电路，藉由探针检测待测电路板上的电路是否正常运作。

现有的探针结构一般包含有一个套筒，套筒内设有二个电极以及连接在二电极之间的一弹簧。其中一个电极固定于检测机台并且电性连接检测机台，另一个电极则可活动地位于套筒内用以导接欲检测的待测电路板上的焊点。当待测电路板触压探针时，弹簧被压缩而施力于活动的电极，藉此使此电极与待测电路板加压接触而确实导通。或者是只设置一个活动的电极，而藉由弹簧直接导接电极与检测机台。

探针为微小的元件，其结构复杂，零件制作及组装皆不易。现有的探针以弹簧作为导接元件，其因此工艺中的误差常会导致探针接触不良而无法导通待测电路板与检测机台，且每个测试点的对探针的抵触力要求不一致，现提出可以快捷调整探针与电路板抵触力调整的一种半导体测试探针用带有法兰止位的探针套筒。

公开内容

针对现有技术的不足，本公开的目的在于提供一种半导体测试探针用带有法兰止位的探针套筒，解决了现有技术中探针与电路板测试点的抵触力过大或过小而导致损坏产品或者印象测试结果。

本公开的目的可以通过以下技术方案实现：

一种半导体测试探针用带有法兰止位的探针套筒,包括第一套筒、第二套筒、第一顶针和第一法兰，所述第一法兰安装在第一套筒上，第一套筒上开设有第一安装孔，第二套筒活动安装在第一安装孔内，第一安装孔上设有第一止位台阶，第二套筒上设有第一止位凸台，第一止位凸台位于第一止位台阶上方,第一安装孔内活动安装有第一滑块，第一滑块与第一止位凸台之间设有第一弹簧，第一滑块上设有第一导向凸台，第一安装孔上设有第一导向槽，第一导向凸台活动安装在第一导向槽内，第一滑块上设有第一螺纹孔；

所述第二套筒上开设有第二安装孔，第一顶针活动安装在第二安装孔内，第二安装孔内设有第二止位台阶，第一顶针上设有第二止位凸台，第二止位凸台位于第二止位台阶上方，第二安装孔内活动安装有第二滑块，第二滑块与第二止位凸台之间设有第二弹簧，第二滑块上设有第二导向凸台，第二安装孔上设有第二导向槽，第二导向凸台活动安装在第二导向槽，第二滑块上设有第二螺纹孔；

所述第一安装孔的上方设有第一调整模块，第一调整模块包括第一调整底座、第一齿轮和第一丝杆齿轮，第一调整座上开设有第一齿轮安装槽，第一齿轮安装槽上开设有第一通孔，第一齿轮安装槽的侧面均匀的设有多个第一调整齿轮安装槽，第一调整齿轮安装槽上设有第一转轴安装孔，第一齿轮安装槽上下端设有第一旋转固定槽，第一齿轮安装槽内活动安装有第一齿轮，第一齿轮的两端设有第一安装凸台，第一安装凸台活动安装在第一旋转固定槽内，第一转轴安装孔内活动安装有第一转轴，第一转轴上安装有第一调整齿轮和第一变速齿轮，第一调整齿轮安装在第一调整齿轮安装槽内，第一变速齿轮位于第一调整底座的外端面上，第一调整齿轮与第一齿轮啮合，第一调整底座设有第一变速齿轮的外端面上活动安装有第一丝杆齿轮，第一丝杆齿轮上设有第一T形环台，第一调整底座上设有第一T形环槽，一T形环台活动安装在第一T形环槽内，第一变速齿轮与第一丝杆齿轮啮合，第一丝杆齿轮的端面上设有第一丝杆，第一丝杆穿过第一螺纹孔；