[发明专利]确定二维材料生长合金催化剂中金属原子最佳配比的方法

权利要求书

1.一种确定二维材料生长合金催化剂中金属原子最佳配比的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：在绝缘衬底的一表面上形成一层沿预定方向厚度逐渐增大的第一金属催化剂层；

步骤2：在所述第一金属催化剂层的表面上形成一层沿所述预定方向厚度逐渐减小的第二金属催化剂层；

步骤3：退火处理，使第一金属催化剂层和第二金属催化剂层融合形成合金催化剂层，并使得在所述合金催化剂层中第一金属原子和第二金属原子的比值沿所述预定方向逐渐增大；

步骤4：采用化学气相沉积法在所述合金催化剂层的表面上生长二维材料；

步骤5：确定所述合金催化剂层上二维材料生长质量最佳的位置，并根据该位置处的所述合金催化剂层中的第一金属原子和第二金属原子的比值来确定二维材料生长合金催化剂中金属原子的最佳配比；

其中，所述第一金属和第二金属对所述二维材料生长的催化活性不同。

2.根据权利要求1所述的确定二维材料生长合金催化剂中金属原子最佳配比的方法，其特征在于，所述第一金属为铜，所述第二金属为镍。

3.根据权利要求1所述的确定二维材料生长合金催化剂中金属原子最佳配比的方法，其特征在于，所述二维材料包括石墨烯、碳化二钼、碳化钨中的一种。

4.根据权利要求1所述的确定二维材料生长合金催化剂中金属原子最佳配比的方法，其特征在于，所述第一金属催化剂层和/或第二金属催化剂层通过磁控溅射的方式沉积形成。

5.根据权利要求1所述的确定二维材料生长合金催化剂中金属原子最佳配比的方法，其特征在于，所述绝缘衬底为氧化硅片。

6.根据权利要求1所述的确定二维材料生长合金催化剂中金属原子最佳配比的方法，其特征在于，所述步骤5中通过拉曼成像技术和扫描电镜配合来确定所述合金催化剂层上二维材料生长质量最佳的位置。