[发明专利]垂直逻辑门结构

权利要求书

1.一种垂直逻辑门结构，其包含：

一基板；

一第一通道层，设置于该基板上；

一栅极电极，设置于该第一通道层上，该栅极电极重叠于该第一通道层；

一第一电极，设置于该第一通道层上，且电性连接该第一通道层；

一第二电极，设置于该第一通道层上，且电性连接该第一通道层，该栅极电极、该第一通道层、该第一电极及该第二电极形成一顶栅极晶体管；

一第二通道层，设置于该栅极电极上，该第一电极电性连接该第二通道层，且该第二通道层于一垂直方向上部分重叠于该第一通道层；以及

一第三电极，设置于该第二通道层上，且电性连接该第二通道层，该栅极电极、该第二通道层、该第一电极及该第三电极形成一底栅极晶体管。

2.如权利要求1所述的垂直逻辑门结构，进一步包含：

一第一栅极绝缘层，设置在该第一通道层与该栅极电极之间；

一第二栅极绝缘层，设置于该第一栅极绝缘层上；

一层间介电层，设置于该第二栅极绝缘层上；以及

一屏障保护层，设置于该层间介电层上。

3.如权利要求2所述的垂直逻辑门结构，其中该栅极电极设置在该第一栅极绝缘层与该第二栅极绝缘层之间，该第二通道层、该第一电极、该第二电极及该第三电极设置在该层间介电层与该屏障保护层之间，该第一电极与该第三电极部分重叠于该第二通道层，该第一电极沿着一第一通孔电性连接该第一通道层，该第二电极沿着一第二通孔电性连接该第一通道层。

4.如权利要求3所述的垂直逻辑门结构，其中该栅极电极连接于一输入端，该第一电极连接于一输出端，该第二电极及该第三电极分别连接于一电压源。

5.如权利要求2所述的垂直逻辑门结构，其中该栅极电极设置在该第一栅极绝缘层与该第二栅极绝缘层之间，该第一电极及该第二电极设置在该层间介电层与该屏障保护层之间，该第二通道层及该第三电极设置在该第二栅极绝缘层与该层间介电层之间，该第三电极部分重叠于该第二通道层，该第一电极沿着一第一通孔电性连接该第一通道层，该第二电极沿着一第二通孔电性连接该第一通道层。

6.如权利要求5所述的垂直逻辑门结构，其中该栅极电极连接于一输入端，该第一电极连接于一输出端，该第二电极及该第三电极分别连接于一电压源。

7.如权利要求2所述的垂直逻辑门结构，其中该栅极电极包含一第一栅极及一第二栅极，该第一栅极设置在该第一栅极绝缘层与该第二栅极绝缘层之间，该第二栅极设置在该第二栅极绝缘层与该层间介电层之间，该第二电极和该第三电极形成一延伸电极，该第二通道层、该第一电极及该延伸电极设置在该层间介电层与该屏障保护层之间，该第一电极与该延伸电极部分重叠于该第二通道层，该第一电极沿着一第一通孔电性连接该第一通道层，该延伸电极沿着一第二通孔电性连接该第一通道层。

8.如权利要求1所述的垂直逻辑门结构，该第一栅极连接于一时钟信号源，该第二栅极连接于一反向时钟信号源，该第一电极连接于一输入端，该第二电极及该第三电极连接于一输出端。

9.如权利要求1所述的垂直逻辑门结构，进一步包含一缓冲层，该缓冲层设置在该基板与该第一通道层之间。