[发明专利]一种可重复使用的掩膜版蚀刻液生产设备

权利要求书

1.一种可重复使用的掩膜版蚀刻液生产设备，包括过滤箱（1），其特征在于：所述过滤箱（1）的底面固定连接有支撑架（2），所述过滤箱（1）顶部的内侧设置有第一过滤部件（3），所述第一过滤部件（3）顶部的内侧固定套接有进液管（4），所述过滤箱（1）中部的内侧设置有自清理部件（5），所述自清理部件（5）的正面固定安装有同步传动部件（6），所述同步传动部件（6）的一侧固定安装有动力部件（7），所述自清理部件（5）的底部设置有二次过滤网板（8），所述二次过滤网板（8）固定套接在过滤箱（1）中部的内侧，所述二次过滤网板（8）的底部设置有反冲洗部件（9）和第一泵送部件（10），所述反冲洗部件（9）以及第一泵送部件（10）的一侧均固定套接在过滤箱（1）底部的内侧，所述过滤箱（1）的底部设置有第二泵送部件（11）。

2.根据权利要求1所述的一种可重复使用的掩膜版蚀刻液生产设备，其特征在于：所述第一过滤部件（3）的内部包括有过滤网筒（31），且过滤网筒（31）中部的内侧固定套接有第一传动轴（32），所述第一传动轴（32）顶部的表面固定安装有轴承套（33），所述轴承套（33）中部的表面固定套接有密封板（34），所述密封板（34）通过螺丝固定安装在过滤箱（1）顶部的内侧，所述第一传动轴（32）的顶端固定安装有第一伺服电机（35）。

3.根据权利要求2所述的一种可重复使用的掩膜版蚀刻液生产设备，其特征在于：所述密封板（34）的表面固定套接有第一密封圈（36），且第一密封圈（36）活动套接在过滤箱（1）顶部的内侧，所述密封板（34）的顶面固定连接有把手（37）。

4.根据权利要求1所述的一种可重复使用的掩膜版蚀刻液生产设备，其特征在于：所述自清理部件（5）的内部包括有两个螺旋杆（51），且两个螺旋杆（51）活动套接在过滤箱（1）中部的内侧，两个所述螺旋杆（51）的底面与二次过滤网板（8）的顶面活动连接，两个所述螺旋杆（51）一端的外侧各设置有一个输渣管（52），两个所述输渣管（52）的一端均固定套接在过滤箱（1）中部侧壁的内部，两个所述输渣管（52）另一端的表面螺纹连接有防漏盖（53）。

5.根据权利要求4所述的一种可重复使用的掩膜版蚀刻液生产设备，其特征在于：所述防漏盖（53）的顶面活动连接有第二密封圈（54），且第二密封圈（54）固定套接在输渣管（52）另一端的表面。

6.根据权利要求1所述的一种可重复使用的掩膜版蚀刻液生产设备，其特征在于：所述同步传动部件（6）的内部包括有同步带（61），且同步带（61）两侧的内部各活动套接有一个同步带轮（62），两个所述同步带轮（62）的内部各固定套接有一个第二传动轴（63），两个所述第二传动轴（63）一端的表面各固定安装有一个轴用密封圈（64），两个所述轴用密封圈（64）固定套接在过滤箱（1）中部侧壁的内部，两个所述第二传动轴（63）的另一端与自清理部件（5）内部两个螺旋杆（51）的一端固定安装在一起。

7.根据权利要求1所述的一种可重复使用的掩膜版蚀刻液生产设备，其特征在于：所述动力部件（7）的内部包括有小型伞齿轮箱（71），且小型伞齿轮箱（71）的反面与同步传动部件（6）内部两个第二传动轴（63）中一个的一端固定安装在一起，所述小型伞齿轮箱（71）的顶部固定安装有第二伺服电机（72），所述第二伺服电机（72）的反面固定安装在过滤箱（1）顶部一侧的正面上。

8.根据权利要求1所述的一种可重复使用的掩膜版蚀刻液生产设备，其特征在于：所述反冲洗部件（9）的内部包括有五个冲洗管（91），且五个冲洗管（91）之间固定安装有固定杆（93），所述冲洗管（91）的内部开设有喷水槽（92），所述喷水槽（92）为倾斜状态，所述固定杆（93）套接在过滤箱（1）底部的内侧。