[发明专利]检测设备及其检测方法

说明书

检测设备及其检测方法，所述检测设备包括：检测组件，用于对待测物、的套刻标记进行检测，套刻标记包括第一标记和第二标记；运动台，用于使检测组件和待测物相对移动；所述检测方法包括：检测组件采集包含第一标记的第一图像；运动采集装置在第一曝光时间内采集运动台的振动值，获取第一抖动值序列；检测组件采集包含第二标记的第二图像；运动采集装置在第二曝光时间内获取第二抖动值序列；根据第一和第二抖动值序列获取第一标记的第一抖动补偿值和第二标记的第二抖动值补偿值；根据第一图像、第二图像、第一抖动补偿值和第二抖动补偿值，获取所述第一标记和所述第二标记在检测面内的对准误差。采用上述方案可以提高对准误差检测结果的准确性。

技术领域

本发明实施例涉及误差检测领域，尤其涉及一种检测设备及其检测方法。

背景技术

在机械制造领域，尤其是精密制造领域，通常需要一系列复杂的加工工艺才能完成产品制造。为了保证加工精度，不同的工艺步骤之间，需要进行对准操作，其中，对准误差是衡量对准精度的重要指标，因此需要对对准误差进行检测。

然而，目前的对准误差检测方法的检测精度仍有待改善。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了一种检测设备及其检测方法，能够减小因运动台的抖动对对准误差的影响，提高对准误差检测结果的准确性。

首先，本发明实施例提供了一种检测设备的检测方法，所述检测设备包括：检测组件，所述检测组件用于对待测物的套刻标记进行检测，所述套刻标记包括第一标记和第二标记；运动台，所述运动台用于使所述检测组件和所述待测物相对移动；

所述检测方法包括：

通过所述检测组件采集包含所述第一标记的第一图像，所述检测组件采集所述第一图像的曝光时间为第一曝光时间；

通过运动采集装置在第一曝光时间内采集所述运动台的振动值，获取第一抖动值序列；

所述通过所述检测组件采集包含所述第一标记的第一图像之后，通过所述检测组件采集包含所述第二标记的第二图像，所述检测组件采集所述第二图像的曝光时间为第二曝光时间；

所述通过所述检测组件采集包含所述第一标记的第一图像之后，通过所述运动采集装置在第二曝光时间内采集所述运动台的振动值，获取第二抖动值序列；

根据所述第一抖动值序列获取第一标记的第一抖动补偿值，所述第一抖动补偿值用于表征获取第一图像时所述套刻标记的抖动值；

根据所述第二抖动值序列获取第二标记的第二抖动补偿值，所述第二抖动补偿值用于表征获取第二图像时所述套刻标记的抖动值；

根据所述第一图像、所述第二图像、所述第一抖动补偿值和所述第二抖动补偿值，获取述第一标记和所述第二标记在检测面内的对准误差。

可选的，所述根据所述第一抖动值序列获取第一标记的第一抖动补偿值，包括：

计算所述第一抖动值序列的平均值、中位数或加权值，作为第一抖动补偿值；

所述根据所述第二抖动值序列获取第二标记的第二抖动补偿值，包括：

计算所述第二抖动值序列的平均值、中位数或加权值，作为第二抖动补偿值。

可选的，所述根据所述第一图像、所述第二图像、所述第一抖动补偿值和所述第二抖动补偿值，获取述第一标记和所述第二标记在检测面内的对准误差的步骤包括：根据所述第一图像和所述第二图像获取所述第一标记和所述第二标记在检测面内的初始对准误差；根据所述第一抖动值序列和所述第二抖动值序列的差值，对所述初始对准误差进行补偿，获取对准误差；