[发明专利]检测设备及其检测方法

权利要求书

1.一种检测设备的检测方法，其特征在于，所述检测设备包括：检测组件，所述检测组件用于对待测物的套刻标记进行检测，所述套刻标记包括第一标记和第二标记；运动台，所述运动台用于使所述检测组件和所述待测物相对移动；

所述检测方法包括：

通过所述检测组件采集包含所述第一标记的第一图像，所述检测组件采集所述第一图像的曝光时间为第一曝光时间；

通过运动采集装置在第一曝光时间内采集所述运动台的振动值，获取第一抖动值序列；

所述通过所述检测组件采集包含所述第一标记的第一图像之后，通过所述检测组件采集包含所述第二标记的第二图像，所述检测组件采集所述第二图像的曝光时间为第二曝光时间；

所述通过所述检测组件采集包含所述第一标记的第一图像之后，通过所述运动采集装置在第二曝光时间内采集所述运动台的振动值，获取第二抖动值序列；

根据所述第一抖动值序列获取第一标记的第一抖动补偿值，所述第一抖动补偿值用于表征获取第一图像时所述套刻标记的抖动值；

根据所述第二抖动值序列获取第二标记的第二抖动补偿值，所述第二抖动补偿值用于表征获取第二图像时所述套刻标记的抖动值；

根据所述第一图像、所述第二图像、所述第一抖动补偿值和所述第二抖动补偿值，获取所述第一标记和所述第二标记在检测面内的对准误差。

2.根据权利要求1所述的检测设备的检测方法，其特征在于，所述根据所述第一抖动值序列获取第一标记的第一抖动补偿值，包括：

计算所述第一抖动值序列的平均值、中位数或加权值，作为第一抖动补偿值；

所述根据所述第二抖动值序列获取第二标记的第二抖动补偿值，包括：

计算所述第二抖动值序列的平均值、中位数或加权值，作为第二抖动补偿值。

3.根据权利要求1所述的检测设备的检测方法，其特征在于，所述根据所述第一图像、所述第二图像、所述第一抖动补偿值和所述第二抖动补偿值，获取所述第一标记和所述第二标记在检测面内的对准误差的步骤包括：

根据所述第一图像和所述第二图像获取所述第一标记和所述第二标记在检测面内的初始对准误差；根据所述第一抖动值序列和所述第二抖动值序列的差值，对所述初始对准误差进行补偿，获取对准误差；

或者，根据所述第一图像获取第一标记的第一初始位置信息；根据所述第二图像获取第二标记的第二初始位置信息；通过所述第一抖动补偿值对所述第一初始位置信息进行补偿，获取第一位置信息；通过所述第二抖动补偿值对所述第二初始位置信息进行补偿，获取第二位置信息；根据所述第一位置信息和第二位置信息的差值，获取第一标记和第二标记的对准误差。

4.根据权利要求1所述的检测设备的检测方法，其特征在于，所述通过所述检测组件采集包含所述第一标记的第一图像，所述检测组件采集所述第一图像的曝光时间为第一曝光时间的步骤，包括：

向所述检测组件发送第一曝光信号，所述检测组件根据所述第一曝光信号确定曝光开始时刻，并在曝光过程中采集包含所述第一标记的第一图像，同时向所述运动采集装置发送第一曝光同步信号；

通过运动采集装置在第一曝光时间内采集所述运动台的振动值，获取第一抖动值的步骤，包括：

所述运动采集装置接收所述第一曝光同步信号，并在接收到所述第一曝光同步信号的时间内采集所述运动台的一个或多个振动值，获取所述第一抖动值序列。

5.根据权利要求4所述的检测设备的检测方法，其特征在于，所述在曝光过程中采集包含所述第一标记的第一图像，同时向所述运动采集装置发送第一曝光同步信号的步骤，包括：

在曝光过程中所述检测组件持续向所述运动采集装置发送第一曝光同步信号直至所述第一曝光时间结束；

所述运动采集装置接收所述第一曝光同步信号，并在接收到第一曝光同步信号的时间内采集所述运动台的一个或多个振动值，获取所述第一抖动值序列的步骤，包括：

所述运动采集装置持续接收所述第一曝光同步信号，并在接收到第一曝光同步信号时间内，以第一预设采集频率重复采集所述运动台的一个或多个振动值，获取所述第一抖动值序列。