[发明专利]基板固定装置

权利要求书

1.一种基板固定装置，包括：

静电吸盘，其构造为在所述静电吸盘上吸附并且保持对象，并且所述静电吸盘包括基体和静电电极，所述对象安装在所述基体上，并且所述静电电极设置在所述基体中；以及

底板，所述静电吸盘安装在所述底板上，并且所述底板具有多个通孔，所述多个通孔中的每一个使所述基体的面向所述底板的第一面露出，

其中，从所述通孔中的每一个朝向所述基体发射激光。

2.根据权利要求1所述的基板固定装置，还包括：

多个光纤，所述多个光纤中的每一个构造为朝向所述基体发射激光，并且布置在所述通孔中相对应的一个中。

3.根据权利要求2所述的基板固定装置，其中：

所述基体被划分为多个区域；

所述区域的温度中的每一个温度被独立地控制；并且

所述光纤中的每一个布置在所述区域中相对应的一个中。

4.根据权利要求3所述的基板固定装置，其中：

所述光纤中的第一光纤布置在所述区域中的第一区域中；并且

从所述第一光纤发射的激光朝向所述第一区域辐射，使得所述第一区域被加热。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的基板固定装置，其中：

在所述基体的所述第一面中形成有多个凹部；并且

所述凹部中的每一个面向所述光纤中相对应的一个。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的基板固定装置，其中：

所述基体含有氧化铝作为主要成分，并且所述激光的波段是红外区域。

7.根据权利要求2至4中任一项所述的基板固定装置，还包括：

粘合层，其设置在所述基体的所述第一面与所述底板之间，以将所述静电吸盘与所述底板彼此固定，

其中：

所述通孔形成在所述底板和所述粘合层中，以便使所述基体的所述第一面露出；并且

所述光纤的前端定位在形成于所述粘合层中的所述通孔中。

8.根据权利要求1至4中任一项所述的基板固定装置，其中：

所述静电吸盘还包括加热元件，所述加热元件设置在所述基体中。