[发明专利]用于从表面去除薄膜的设备和方法在审
| 申请号: | 202110080089.7 | 申请日: | 2021-01-21 |
| 公开(公告)号: | CN113206017A | 公开(公告)日: | 2021-08-03 |
| 发明(设计)人: | 郝济远;托雷斯·帕特罗西尼奥·小·戈;柯定福;吴锴;孔孟凯 | 申请(专利权)人: | 先进科技新加坡有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人: | 艾晶 |
| 地址: | 新加坡义*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 表面 去除 薄膜 设备 方法 | ||
1.一种用于在对第一模具与第二模具之间的衬底进行模塑之后从模塑系统去除使用过的离型膜的设备,所述模塑系统包括所述第一模具和所述第二模具,在模塑期间,所述衬底与所述使用过的离型膜相接触,所述设备包括:
夹具组件,当所述第一模具和所述第二模具打开并且所述模塑系统布置为开放式构造时,所述夹具组件能够在所述模塑系统外部的收缩位置与所述第一模具和所述第二模具之间的空间中的伸展位置之间往复移动;
托架机构,所述夹具组件安装在所述托架机构上,所述托架机构能够操作以朝着所述第一模具或所述第二模具移动所述夹具组件,直到所述夹具组件与所述使用过的离型膜相接触为止;以及
致动器,其驱动所述夹具组件以夹持所述使用过的离型膜的一部分,
其中,所述托架机构还可操作用于在所述夹具组件夹持住所述使用过的离型膜的同时将所述夹具组件从所述第一模具或所述第二模具移开,从而从所述模塑系统去除所述使用过的离型膜。
2.根据权利要求1所述的设备,其中,所述夹具组件包括至少一个夹具指状件,所述至少一个夹具指状件从所述夹具组件的细长主体延伸,以夹紧所述使用过的离型膜的一部分。
3.根据权利要求2所述的设备,其中,所述至少一个夹具指状件包括悬臂主体,所述悬臂主体具有附接至所述细长主体的连接端。
4.根据权利要求3所述的设备,其中,所述夹具组件包括第一夹具指状件和第二夹具指状件,并且所述悬臂主体被配置为朝着所述第二夹具指状件移动所述第一夹具指状件。
5.根据权利要求4所述的设备,其中,所述第一夹具指状件和所述第二夹具指状件相互平行地布置,并且当所述第一夹具指状件朝着所述第二夹具指状件移动时,保持彼此平行。
6.根据权利要求4所述的设备,其中,所述第二夹具指状件是固定的,而所述第一夹具指状件是可移动的。
7.根据权利要求2所述的设备,其中,所述至少一个夹具指状件还包括弹性尖端,所述弹性尖端位于所述夹具指状件的自由端处以接触所述使用过的离型膜。
8.根据权利要求7所述的设备,其中,所述弹性尖端被配置为指向所述第一模具或所述第二模具。
9.根据权利要求8所述的设备,其中,所述弹性尖端可互换地被配置为指向所述第一模具或所述第二模具。
10.根据权利要求7所述的设备,其中,所述弹性尖端具有高摩擦表面纹理。
11.根据权利要求2所述的设备,其中,所述致动器被配置为驱动所述至少一个夹具指状件移动。
12.根据权利要求11所述的设备,其中,所述致动器包括气动致动器,所述气动致动器包括空气出口,所述空气出口可操作用于排出空气,以便所述至少一个夹具指状件夹持所述使用过的离型膜的一部分。
13.根据权利要求11所述的设备,还包括位于所述夹具指状件上的传感器,所述传感器被配置为检测所述夹具指状件是否已经成功夹持所述使用过的离型膜。
14.根据权利要求13所述的设备,其中,所述传感器还被配置为在所述致动器驱动所述夹具指状件移动以夹持所述使用过的离型膜之前,检测所述夹具指状件是否与所述使用过的离型膜相接触。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





