[发明专利]一种芯片清洗机的装夹芯片装置及其使用方法在审

专利信息
申请号: 202110068296.0 申请日: 2021-01-19
公开(公告)号: CN112916471A 公开(公告)日: 2021-06-08
发明(设计)人: 王青松 申请(专利权)人: 武汉百臻半导体科技有限公司
主分类号: B08B3/00 分类号: B08B3/00;B08B13/00
代理公司: 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 代理人: 刘宁
地址: 430000 湖北省武汉市光*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 清洗 装置 及其 使用方法
【说明书】:

发明公开了一种芯片清洗机的装夹芯片装置及其使用方法,包括底座和固定在底座顶部的装夹台,所述底座内部的两侧均设置有升降机构,两个所述升降机构相背离的一侧均设置有夹持机构,本发明涉及清洗机加工技术领域。该芯片清洗机的装夹芯片装置及其使用方法,通过连接板远离活动槽内壁的一侧固定连接有延伸板,延伸板延伸至固定板外部的一侧固定连接有夹板,在对芯片进行装夹时,拉动延伸板,将夹板靠近芯片,对芯片进行夹紧,然后转动螺杆,将螺杆朝固定板内部移动,带动弧形卡板进入卡槽中,对延伸板的位置进行固定,手动对芯片进行装夹,便于把握夹持的力度,方便对不同尺寸的芯片夹持的同时,保证芯片不易受到损伤。

技术领域

本发明涉及清洗机加工技术领域,具体为一种芯片清洗机的装夹芯片装置及其使用方法。

背景技术

清洗机,用于冲洗过滤液压系统在制造、装配、使用过程及维护时生成或侵入的污染物,也可以适用于对工作油液的定期维护过滤,提高清洁度,避免或减少因污染而造成的故障,从而保证液压系统设备的高性能、高可靠度和长寿命,清洗机品种有:三氯机、气相机、液压清洗机、冷水高压清洗机、热水高压清洗机、电驱动清洗机、汽油驱动清洗机、电加热高压清洗机、柴油加热高压清洗机、超高压移动式清洗机、工业用不锈钢高压清洗机、防爆高压清洗机、液压清洗机和超声波清洗机,半导体芯片是在半导体片材上进行浸蚀,布线,制成的能实现某种功能的半导体器件,不只是硅芯片,常见的还包括砷化镓、锗等半导体材料,半导体也像汽车有潮流,为了满足量产上的需求,半导体的电性必须是可预测并且稳定的,因此包括掺杂物的纯度以及半导体晶格结构的品质都必须严格要求。

目前清洗机的半导体芯片在加工过程中,通过装夹装置对芯片进行固定,方便加工,而由于芯片过小过薄,传统的夹具通过气缸夹持时,导致夹持力过大时芯片易碎,且芯片容易被吹跑或移动,导致对芯片的处理难度增加。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本发明提供了一种芯片清洗机的装夹芯片装置及其使用方法,解决了由于芯片过小过薄,传统的夹具通过气缸夹持时,导致夹持力过大时芯片易碎,且芯片容易被吹跑或移动,导致对芯片的处理难度增加的问题。

二技术方案

为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:一种芯片清洗机的装夹芯片装置,包括底座和固定在底座顶部的装夹台,所述底座内部的两侧均设置有升降机构,两个所述升降机构相背离的一侧均设置有夹持机构。

所述夹持机构包括两个固定板,两个所述固定板的底部分别与装夹台顶部的两侧活动连接,两个所述固定板相对的一侧均开设有活动槽,且活动槽内壁的顶部与底部之间通过滑轨滑动连接有连接板,所述连接板远离活动槽内壁的一侧固定连接有延伸板,所述延伸板远离连接板的一侧贯穿固定板并延伸至固定板的外部,所述延伸板延伸至固定板外部的一侧固定连接有夹板,所述固定板的正面与背面均固定连接有螺纹套筒,且螺纹套筒的内壁螺纹连接有螺杆,所述螺杆的螺纹端依次贯穿螺纹套筒和固定板并延伸至固定板的内部,所述螺杆延伸至固定板内部的一端固定连接有弧形卡板,所述延伸板的正面与背面均开设有与弧形卡板相适配的卡槽。

优选的,所述螺杆远离弧形卡板的一端固定连接有手柄,两个所述固定板相背离的一侧均固定连接有竖板,两个所述竖板相对的一侧分别与底座的两侧活动连接,所述竖板靠近装夹台的一侧固定连接有滑杆。

优选的,所述装夹台的一侧固定连接有导轨,且导轨远离装夹台的一侧与滑杆远离竖板的一端滑动连接,所述竖板靠近底座一侧的正面与背面均固定连接有滑块,且滑块远离竖板的一侧通过滑槽与底座的一侧滑动连接。

优选的,所述升降机构包括电机,所述底座内部的两侧均开设有安装槽,所述电机的背面与安装槽内壁的正面固定连接,且电机输出轴的一端通过联轴器固定连接有旋转杆,所述旋转杆远离电机的一端与安装槽内壁的背面转动连接,所述旋转杆的表面固定连接有齿轮。

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