[发明专利]工艺控制装置及方法

权利要求书

1.一种工艺控制装置，包括：

处理器；以及

用于存储由所述处理器执行的多个指令的内存，

其中，所述多个指令包括：

基于置放在衬底支承部上的衬底的置放位点数据来判断所述衬底的置放位点相对于置放所述衬底的衬底支承部的置放中心点的偏离倾向性的指令，所述置放位点数据通过累积所述衬底的置放位点而生成；

根据所判断的偏离倾向性来判断警报等级的指令；以及

根据所判断的警报等级来执行后处理的指令。

2.根据权利要求1所述的工艺控制装置，其中，所述置放位点数据包括置放位点随时间的变化。

3.根据权利要求2所述的工艺控制装置，其中，所述置放位点数据包括按时间顺序列举的、所述置放中心点与所述衬底的置放位点之间的置放距离。

4.根据权利要求2所述的工艺控制装置，其中，所述判断警报等级的指令通过比较单位时间内所述置放位点的变化大小与预先设定的临界变化量来判断所述警报等级。

5.根据权利要求4所述的工艺控制装置，其中，所述警报等级包括：

所述单位时间内置放位点的变化大小超过第一临界变化量的第一警报等级；以及

所述单位时间内置放位点的变化大小超过大于所述第一临界变化量的第二临界变化量的第二警报等级。

6.根据权利要求5所述的工艺控制装置，其中，所述执行后处理的指令包括：

在所述第一警报等级的情况下生成提醒的指令；以及

在所述第二警报等级的情况下控制用于移动所述衬底的传送机器人的指令。

7.根据权利要求6所述的工艺控制装置，其中，所述控制传送机器人的指令包括：

判断置放位点相对于所述置放中心点偏离的方向和距离的指令；以及

根据所判断的方向和距离来设定所述传送机器人的移动偏移量的指令。

8.根据权利要求7所述的工艺控制装置，其中，所述判断置放位点的方向和距离的指令将由单位时间内置放位点的变化大小超过所述第二临界变化量的多个置放位点形成的置放位点群组中距离所述置放中心点最远的置放位点的方向和距离判断为置放位点相对于所述置放中心点偏离的方向和距离。

9.根据权利要求7所述的工艺控制装置，其中，所述判断置放位点的方向和距离的指令将由单位时间内置放位点的变化大小超过所述第二临界变化量的多个置放位点形成的置放位点群组的中心位点的方向和距离判断为置放位点相对于所述置放中心点偏离的方向和距离。

10.一种工艺控制装置，包括：

处理器；以及

用于存储由所述处理器执行的多个指令的内存，

其中，所述多个指令包括：

基于置放在衬底支承部上的衬底的置放位点数据来判断所述衬底的置放位点相对于所述衬底支承部的置放中心点的偏离倾向性的指令，所述置放位点数据通过累积所述衬底的置放位点而生成；

根据所判断的偏离倾向性来判断警报等级的指令；以及

根据所判断的警报等级来执行后处理的指令，

其中，所述置放位点数据包括置放位点随时间的变化，

所述置放位点数据包括按时间顺序列举的、所述置放中心点与所述衬底的置放位点之间的置放距离，

所述判断警报等级的指令通过比较单位时间内所述置放位点的变化大小与预先设定的临界变化量来判断所述警报等级，

所述警报等级包括：

所述单位时间内置放位点的变化大小超过第一临界变化量的第一警报等级；以及

所述单位时间内置放位点的变化大小超过大于所述第一临界变化量的第二临界变化量的第二警报等级。