[发明专利]一种低空洞率的倒装LED芯片及其制备方法在审
申请号: | 202110038564.4 | 申请日: | 2021-01-12 |
公开(公告)号: | CN112768591A | 公开(公告)日: | 2021-05-07 |
发明(设计)人: | 范凯平;旷明胜;徐亮;仇美懿;何俊聪 | 申请(专利权)人: | 佛山市国星半导体技术有限公司 |
主分类号: | H01L33/62 | 分类号: | H01L33/62;H01L33/64 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 胡枫;李素兰 |
地址: | 528200 广东省佛山市南海区狮*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 空洞 倒装 led 芯片 及其 制备 方法 | ||
本发明公开了一种低空洞率的倒装LED芯片及其制备方法,所述倒装LED芯片包括衬底、设于衬底上的发光结构、设于发光结构上的电极,还包括设于电极上的焊接层、以及设于焊接层上的点测接触层;所述焊接层的材料选用Au和Sn,Au和Sn的质量百分比为(15%~30%):(70%~85%);其中,所述焊接层为叠层结构,包括多层Sn/Au叠层;或者,所述焊接层为叠层结构,包括多层Sn/AuSn叠层;或者,所述焊接层为叠层结构,包括多层AuxSn1‑x层,每层AuxSn1‑x中Au和Sn的比例不同。本发明的倒装LED芯片,空洞率低,良率高。
技术领域
本发明涉及发光二极管技术领域,尤其涉及一种低空洞率的倒装LED芯片及其制备方法。
背景技术
倒装LED芯片凭借其具有良好的散热性能、电流分布均匀、高可靠性、高光效等突出特点,被广泛地应用于车用照明、家用照明、背光显示等领域。
倒装LED芯片在封装应用时普遍使用AuSn共晶焊接技术,无需打线固晶,大大降低了封装时间与成本;但是其对共晶焊接工艺要求较高,对封装基板的选择、平整度、制作工艺的要求也很高,同时也对AuSn共晶焊接的焊料层金属制备工艺提出了更高的要求。
此外,倒装LED芯片使用AuSn共晶焊接技术焊接在封装基板上,会产生较高的空洞率(不良率),空洞率是指芯片焊盘电极金属与封装基板之间的焊接粘附效果,通过X-Ray扫描焊接粘附区域,若全部显示黑色,则焊接粘附效果好,空洞率小,良率高;若焊接粘附区域的局部区域表现为白色(如图1所示),则对应产生空洞情况,白色的区域越多,空洞率越高,良率越低;其中,空洞率等于白色区域与焊接粘附总区域的比例。
其中,空洞率不仅受芯片焊盘电极金属及其工艺的影响,也受封装工艺的影响。一般各封装厂家对芯片的空洞率控制在15%以下,视为合格。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于,提供一种低空洞率的倒装LED芯片,其空洞率低,良率高。
本发明所还要解决的技术问题在于,提供一种低空洞率的倒装LED芯片的制备方法,制备方法简单,且能制得空洞率低、良率高的倒装LED芯片。
为了解决上述技术问题,本发明提供了一种低空洞率的倒装LED芯片,包括衬底、设于衬底上的发光结构、设于发光结构上的电极,还包括设于电极上的焊接层、以及设于焊接层上的点测接触层;所述焊接层的材料选用Au和Sn,Au和Sn的质量百分比为(15%~30%):(70%~85%);其中,
所述焊接层为叠层结构,包括多层Sn/Au叠层;或者,
所述焊接层为叠层结构,包括多层Sn/AuSn叠层;或者,
所述焊接层为叠层结构,包括多层AuxSn1-x层,每层AuxSn1-x中Au和Sn的比例不同。
作为上述方案的改进,Sn/Au叠层中,Sn的厚度为a1,Au的厚度为b1,其中,a1:b1=(15~30):(70~85)。
作为上述方案的改进,Sn/AuSn叠层中,Sn的厚度为a2,AuSn的厚度为b2,其中,a2:b2=(10~25):(75~90);
Sn/AuSn叠层中Sn的厚度为0.15~0.35μm,AuSn的厚度为1.05~1.55μm。
作为上述方案的改进,AuSn中Au和Sn的质量百分比为(75%~82%):(18%~25%)。
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