[发明专利]用于铜凸块电沉积的包含流平剂的组合物

权利要求书

1.一种包含铜离子和至少一种包含聚亚烷基亚胺骨架的添加剂的组合物，所述聚亚烷基亚胺骨架包含N-氢原子，其中

(a)聚亚烷基亚胺骨架的质量平均分子量M_W为600g/mol至100 000g/mol，

(b)N-氢原子各自经包含氧乙烯和C₃-C₆氧化烯单元的聚氧化烯基取代，以及

(c)在聚亚烷基亚胺中，聚氧化烯基中的氧化烯单元的平均数为每个N-氢原子大于10个至小于30个。

2.根据权利要求1所述的组合物，其中聚氧化烯基中的氧化烯单元的平均数为每个N-氢原子11至28个。

3.根据权利要求1或2所述的组合物，其中至少一种添加剂为式L1的聚亚烷基亚胺或可通过质子化或季铵化获得的其衍生物：

其中

X^L1独立地选自直链C₂-C₆烷二基、支化C₃-C₆烷二基和其混合物；

A^L1为通过支化的聚亚烷基亚胺骨架的延续；

R^L1为式-(X^L11O)_r(X^L12O)_s-R^L11的聚氧化烯单元；

R^L2选自R^L1和R^L3；

R^L3选自C₁-C₁₂烷基、C₁-C₁₂链烯基、C₁-C₁₂炔基、C₆-C₂₀烷芳基、C₆-C₂₀芳烷基和C₆-C₂₀芳基；

X^L11为乙二基；

对于各n，X^L12独立地选自C₃-C₆烷二基，优选丙-1,2-二基、(2-羟甲基)乙-1,2-二基、丁-1,2-二基、丁-2,3-二基、2-甲基-丙-1,2-二基(亚异丁基)、戊-1,2-二基、戊-2,3-二基、2-甲基-丁-1,2-二基、3-甲基-丁-1,2-二基、己-2,3-二基、己-3,4-二基、2-甲基-戊-1,2-二基、2-乙基丁-1,2-二基、3-甲基-戊-1,2-二基、癸-1,2-二基、4-甲基-戊-1,2-二基和(2-苯基)-乙-1,2-二基及其混合物；

R^L11各自独立地为氢、C₁-C₁₂烷基、C₂-C₁₂链烯基、C₂-C₁₂炔基、C₆-C₁₈芳烷基、C₅-C₁₂芳基、C₂-C₁₂烷羰基和其混合物；

s、r为经选择以使得R^L1基团中的氧化烯单元的算术平均数1至为大于10至小于30的数的整数，其中p为r和s的总和；和

q、n、m、o为整数，条件为(q+n+m+o)为10至24000且n为1或更大。

4.根据权利要求3中任一项所述的组合物，其中X^L1选自乙二基、1,3-丙二基和1,4丁二基。

5.根据权利要求3或4中任一项所述的组合物，其中R^L1中的C₃-C₆氧化烯单元的相对量s/(s+r)为7％至50％。

6.根据权利要求3-5中任一项所述的组合物，其中C₃-C₆氧化烯为氧丙烯。