[发明专利]无缝电导管

权利要求书

1.一种统一电导管，包括：

中心导体；

插座，所述插座耦合至所述中心导体的第一端；

公插件，所述公插件耦合至所述中心导体的第二端；

介电护套，所述介电护套环绕所述中心导体；以及

外部导体，所述外部导体环绕所述介电护套，其中沿着所述外部导体的长度形成实质上90度的弯折。

2.如权利要求1所述的统一电导管，其中所述介电护套包括由第二介电层环绕的第一介电层。

3.如权利要求1所述的统一电导管，其中所述中心导体包括铜(Cu)材料。

4.如权利要求3所述的统一电导管，其中所述外部导体包括铝(Al)材料。

5.如权利要求3所述的统一电导管，其中所述中心导体包括管。

6.如权利要求1所述的统一电导管，进一步包括耦合至所述外部导体的第一凸缘和第二凸缘。

7.如权利要求6所述的统一电导管，其中所述第一凸缘耦合至所述外部导体的第一端，并且所述第二凸缘耦合至所述外部导体的第二端。

8.如权利要求1所述的统一电导管，其中所述外部导体用于传导热量以及电力。

9.一种腔室，包括：

腔室主体，所述腔室主体界定处理空间；

基板支撑件，所述基板支撑件能移动地设置于所述处理空间中；以及

统一电导管，所述统一电导管耦合至所述基板支撑件，其中所述统一电导管包括：

中心导体；

介电护套，所述介电护套环绕所述中心导体；和

外部导体，所述外部导体环绕所述介电护套，其中沿着所述外部导体的长度形成实质上90度的弯折。

10.如权利要求9所述的腔室，其中所述介电护套包括由第二介电层环绕的第一介电层。

11.如权利要求9所述的腔室，其中所述中心导体包括铜(Cu)材料。

12.如权利要求11所述的腔室，其中所述外部导体包括铝(Al)材料。

13.如权利要求11所述的腔室，其中所述中心导体包括管。

14.如权利要求9所述的腔室，进一步包括耦合至所述外部导体的第一凸缘和第二凸缘。

15.如权利要求14所述的腔室，其中所述第一凸缘耦合至所述外部导体的第一端，并且所述第二凸缘耦合至所述外部导体的第二端。

16.一种用于形成统一电导管的方法，所述方法包括：

形成直的制品，包括：

提供由导电材料制成的第一管；

绕所述第一管周边安装介电护套；

提供由导电材料制成的第二管，以环绕所述介电护套的外表面；以及在所述直的制品中形成弯折，其中所述弯折为实质上90度。

17.如权利要求16所述的方法，其中在安装所述介电护套之前，退火所述第一管和所述第二管。

18.如权利要求16所述的方法，其中介电护套包括第一介电层和第二介电层。

19.如权利要求16所述的方法，其中凸缘在所述第二管的相对端处耦合至所述第二管。

20.如权利要求19所述的方法，其中在形成所述弯折之前，所述凸缘耦合至所述第二管。