[发明专利]感光性聚酰亚胺树脂组合物在审
| 申请号： | 202080041583.6 | 申请日： | 2020-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN113994257A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 铃木铁秋;黑泽稻太郎 | 申请（专利权）人： | 合肥汉之和新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/038;G03F7/008;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 童春媛;梅黎 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥市新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 感光性 聚酰亚胺 树脂 组合 | ||
1.感光性聚酰亚胺树脂组合物，其含有(A)溶剂可溶性聚酰亚胺和(B)二叠氮化合物作为必需成分，其中，
所述(A)溶剂可溶性聚酰亚胺是主链中具有(a)具有二苯甲酮结构的芳族四羧酸二酐残基和(b)选自在氨基的邻位具有烷基的芳族二胺、具有茚满结构的芳族二胺和具有聚硅氧烷结构的二胺的至少1种二胺的残基的嵌段共聚物，
所述(B)二叠氮化合物的含量相对于100重量份的所述(A)溶剂可溶性聚酰亚胺为2.0~150重量份。
2.根据权利要求1所述的树脂组合物，其特征在于，所述至少1种二胺的残基是具有苯基茚满结构的芳族二胺的残基。
3.根据权利要求1或2所述的树脂组合物，其特征在于，所述(B)二叠氮化合物为2,6-二(4'-叠氮苯亚甲基)-4-乙基环己酮。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的树脂组合物，其特征在于，所述感光性聚酰亚胺树脂组合物还含有(C)环氧树脂和(D)光产碱剂。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的树脂组合物，其特征在于，所述感光性聚酰亚胺树脂组合物为负型溶剂显影组合物。
6.图案形成方法，其特征在于，通过紫外线照射对由根据权利要求1~5中任一项所述的树脂组合物被覆的基板进行曝光，将未曝光部显影除去。
7.半导体封装体、电子元件、显示元件或有机多层布线基板，其具有使用根据权利要求1~5中任一项所述的树脂组合物形成的层间绝缘膜、钝化膜或表面保护膜。
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