[发明专利]流路形成区块以及具备流路形成区块的流体控制装置

权利要求书

1.一种流路形成区块，具备：

第一区块；

第二区块，其被安装于所述第一区块，且具有第一流路以及第二流路；

垫片，其被设置于所述第一区块与所述第二区块之间，且对所述第一区块和所述第二区块之间进行密封，

所述第二区块具有被形成于与所述垫片对置的面、并将所述第一流路和所述第二流路连通的连通部，

所述垫片具有被形成于与所述连通部对置的位置的凹部。

2.如权利要求1所述的流路形成区块，其中，

所述第一流路以及所述第二流路以朝着所述凹部彼此靠近的方式而被形成，

所述凹部具有以将从所述第一流路向所述第二流路流动的流体折返的方式对其进行引导的曲面部。

3.一种流体控制装置，具备：

权利要求1或2所记载的流路形成区块；

第一阀装置以及第二阀装置，其被安装于所述第二区块，

所述第二区块还具有：

第三流路，其通过所述第一阀装置而与所述第一流路连通或阻断；

第四流路，其通过所述第二阀装置而与所述第二流路连通或阻断。

4.如权利要求3所述的流体控制装置，其中，

所述第一流路为所述第一阀装置的出口流路，

所述第二流路为所述第二阀装置的入口流路，

所述第三流路为所述第一阀装置的入口流路，

所述第四流路为所述第二阀装置的出口流路。