[发明专利]抗反射透明疏油表面及其制造方法

权利要求书

1.一种制造结构化表面的方法，所述方法包括：

提供透明基材；

在基材上方设置可脱湿膜；

对可脱湿膜进行退火以形成多个岛状物；

在所述多个岛状物上方形成涂层；以及

对所述多个岛状物进行蚀刻以在涂层中形成表面特征的结构化阵列。

2.如权利要求1所述的方法，其中，可脱湿膜的厚度在至的范围内。

3.如权利要求1或权利要求2所述的方法，其中，设置的步骤通过以下中的至少一种进行：脉冲激光烧蚀、热蒸发、磁控溅射、DC溅射、AC溅射、化学气相沉积(CVD)、等离子体增强CVD、原子层沉积(ALD)、电子束(E束)蒸发或其组合。

4.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其中，可脱湿膜是以下中的至少一种：金属、合金、金属氧化物、聚合物、有机材料、金属氮化物或其组合。

5.如权利要求1-4中任一项所述的方法，其中，可脱湿膜是以下中的至少一种：Cu、Al、Ni、Cr、Ti、Au、Ag、Co、W、Pt或其组合。

6.如权利要求1-5中任一项所述的方法，其中：

所述岛状物是作为有序阵列的结晶取向的岛状物或随机分布的岛状物，并且

至少一部分的岛状物具有从平行于基材的轴截取的截面形状，并且所述截面形状为以下中的至少一种：圆形、卵形、椭圆形、卡西尼卵形、笛卡尔卵形、蛋形或其组合。

7.如权利要求1-6中任一项所述的方法，其中，退火的步骤是在150℃至900℃的温度下进行10秒至1000秒的时间的快速热退火(RTA)。

8.如权利要求1-7中任一项所述的方法，其中，岛状物的至少一个尺寸在0.5nm至5000nm的范围内。

9.如权利要求1-8中任一项所述的方法，其中，涂层的厚度小于所述多个岛状物的高度，以暴露所述多个岛状物的一部分。

10.如权利要求1-9中任一项所述的方法，其中，所述涂层是聚合物涂层、或金属氧化物涂层、或玻璃材料涂层、或半导体材料涂层、或其组合，所述聚合物涂层包含以下中的至少一种：聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚碳酸酯(PC)、聚酰亚胺(PI)。

11.如权利要求10所述的方法，其还包括：

在50℃至200℃的第一温度下进行30秒至10分钟的第一时间的第一固化；

在150℃至300℃的第二温度下进行5分钟至25分钟的第二时间的第二固化，

其中，第一温度小于第二温度，并且

其中，第一时间比第二时间短。

12.如权利要求1-11中任一项所述的方法，其中，所述涂层是包含以下中的至少一种的可脱湿涂层：金属、合金、金属氧化物、聚合物、有机材料、金属氮化物或其组合。

13.如权利要求12所述的方法，其中，可脱湿涂层是以下中的至少一种：Cu、Al、Ni、Cr、Ti、Au、Ag、Co、W、Pt或其组合。