[发明专利]涂覆设备

权利要求书

1.一种涂覆设备，包括：

外腔室，包括旋转轴；

一个或多个反应器，设置在所述外腔室中，连接到所述旋转轴，设置为可移动到外腔室中的第一位置和第二位置，并且包括粉末容纳空间；

第一沉积部，包括第一供应部和第一泵送部，所述第一供应部被设置为可拆卸地耦接到位于所述外腔室中的所述第一位置处的所述反应器，并且当所述第一供应部耦接到所述反应器时将一种以上源气体喷射到所述容纳空间中以形成第一沉积层，所述第一泵送部可拆卸地耦接到所述反应器并且对所述容纳空间进行排气；以及

第二沉积部，包括第二供应部和第二泵送部，所述第二供应部可拆卸地耦接到位于所述外腔室中的所述第二位置处的所述反应器，并且当所述第二供应部耦接到所述反应器时将一种以上源气体喷射到所述容纳空间中以形成第二沉积层，所述第二泵送部可拆卸地耦接到所述反应器并且对所述容纳空间进行排气，

其中，所述第一泵送部和所述第二泵送部中的每一个包括阀。

2.根据权利要求1所述的涂覆设备，其中，所述第一沉积部和所述第二沉积部被设置为向所述反应器的所述容纳空间供应不同的源气体。

3.根据权利要求1所述的涂覆设备，其中，所述反应器包括：

第一端部，被配置为选择性地连接到所述第一供应部或所述第二供应部；和

第二端部，与所述第一端部相对，并且被配置为选择性地连接到所述第一泵送部或所述第二泵送部，

其中，所述第一端部和所述第二端部向外开口，并且

所述容纳空间位于所述第一端部与所述第二端部之间。

4.根据权利要求3所述的涂覆设备，其中，所述反应器包括设置在所述第一端部和所述第二端部中的每一个上的多孔网。

5.根据权利要求4所述的涂覆设备，其中，当所述第一供应部或所述第二供应部耦接到所述反应器时，在所述第一端部侧设置所述多孔网，以在所述多孔网与所述供应部之间形成缓冲空间。

6.根据权利要求4所述的涂覆设备，其中，当所述第一泵送部或所述第二泵送部耦接到所述反应器时，在所述第二端部侧设置所述多孔网，以在所述多孔网与所述泵送部之间形成缓冲空间。

7.根据权利要求3所述的涂覆设备，其中，

在所述第一供应部或所述第二供应部和所述反应器的所述第一端部中的一个上设置有密封构件，所述密封构件设置于耦接区域中，并且

在所述第一供应部或所述第二供应部和所述反应器的所述第一端部中的另一个上设置有插入槽，所述密封构件插入所述插入槽中。

8.根据权利要求3所述的涂覆设备，其中，

在所述第一泵送部或所述第二泵送部和所述反应器的所述第二端部中的一个上设置有密封构件，所述密封构件设置于耦接区域中，并且

在所述第一泵送部或所述第二泵送部和所述反应器的所述第二端部中的另一个上设置有插入槽，所述密封构件插入所述插入槽中。

9.根据权利要求1所述的涂覆设备，其中，所述第一供应部和所述第二供应部中的每一个包括：

容纳部，被配置为容纳两种以上源气体和吹扫气体；

喷射部，连接到所述容纳部，并且被配置为将所述源气体和所述吹扫气体喷射到所述容纳空间中；以及

阀，所述阀设置于所述容纳部与所述喷射部之间。

10.根据权利要求9所述的涂覆设备，其中，所述第一供应部和所述第二供应部中的每一个被设置为向所述容纳空间喷射任意一种源气体，然后喷射所述吹扫气体，并且喷射另一种源气体。

11.根据权利要求9所述的涂覆设备，其中，所述反应器被设置为在所述第一供应部和所述第一泵送部与所述反应器分离的状态下从所述第一位置移动到所述第二位置。

12.根据权利要求11所述的涂覆设备，其中，当所述第一供应部与所述反应器分离时，所述阀保持关闭状态。