[实用新型]一种低压工件的氦质谱泄漏检测装置

权利要求书

1.一种低压工件的氦质谱泄漏检测装置，其特征在于：包括底座(1)其上方的密封室(2)、固定机构(3)、氦质谱检测仪(4)、抽空机构(5)、抽水机构(6)和氦气瓶(7)，所述密封室(2)内部固设固定机构(3)，密封室(2)一侧固定连通至抽空机构(5)，密封室(2)顶部固定连通至抽水机构(6)的抽水泵(601)，且抽水泵(601)与抽空机构(5)互相平行设置，密封室(2)另一侧分别固定连接至氦质谱检测仪(4)、氦气瓶(7)；

所述固定机构(3)包括导轨(301)、二号电动伸缩杆(303)、滑块(304)、一号限位座(307)、二号限位座(308)和若干支杆(305)，所述导轨(301)底部通过支杆(305)固定连接至密封室(2)内壁底部，导轨(301)顶部一侧固定连接二号限位座(308)，导轨(301)顶部另一侧开设有滑槽(302)，滑槽(302)内壁固定连接二号电动伸缩杆(303)，二号电动伸缩杆(303)的伸缩杆固定连接至滑块(304)，滑块(304)顶端固定连接一号限位座(307)，一号限位座(307)和二号限位座(308)互相平行设置；

所述氦气瓶(7)的一端还设有二号气管(701)，二号气管(701)的另一端穿过密封室(2)固定连通至待检工件(8)充气口；

所述检测装置还设有控制面板，所述二号电动伸缩杆(303)、氦质谱检测仪(4)和抽水泵(601)均电连接至控制面板。

2.根据权利要求1所述的一种低压工件的氦质谱泄漏检测装置，其特征在于：所述滑槽(302)的底端还均匀开设有若干个漏水孔(306)。

3.根据权利要求1所述的一种低压工件的氦质谱泄漏检测装置，其特征在于：所述底座(1)包括底板(102)和4个结构相同的支撑腿(101)，底板(102)底部四角均布一个支撑腿(101)，支撑腿(101)包括支撑本体、轮安装板(1011)、车轮(1012)和转轴(1013)，支撑本体为长方体结构，支撑本体顶部固定连接至底板(102)底部，支撑本体底部固定连接至轮安装板(1011)，轮安装板(1011)为U型凹槽结构，轮安装板(1011)内部固定连接有转轴(1013)，且转轴(1013)中部转动套接车轮(1012)。

4.根据权利要求1所述的一种低压工件的氦质谱泄漏检测装置，其特征在于：所述密封室(2)包括密封壳体、一号固定座(201)、一号电动伸缩杆(202)、二号固定座(203)、喷淋头(204)、排水管(205)和阀门(206)，所述密封壳体为中空长方体结构，密封壳体内壁顶部从上至下依次固定连接一号固定座(201)、一号电动伸缩杆(202)、二号固定座(203)和喷淋头(204)，喷淋头(204)的一侧固定连通至抽水机构(6)，密封壳体内壁底部一侧固定连通至排水管(205)的一端，排水管(205)另一端固定连接阀门(206)，一号电动伸缩杆(202)电连接至控制面板。

5.根据权利要求3所述的一种低压工件的氦质谱泄漏检测装置，其特征在于：所述抽空机构(5)包括真空泵(501)和一号气管(502)，真空泵(501)底部固定连接至底板(102)，真空泵(501)顶端固定连通至一号气管(502)的一端，一号气管(502)的另一端固定连通至密封壳体，真空泵(501)电连接至控制面板。

6.根据权利要求1所述的一种低压工件的氦质谱泄漏检测装置，其特征在于：所述抽水机构(6)还包括输水管(602)和抽水管(603)，抽水管(603)一端固定连接至抽水泵(601)一侧，抽水管(603)另一端连通至外界水源，抽水泵(601)顶端固定连通输水管(602)，输水管(602)的另一端穿过密封壳体固定连通至喷淋头(204)。

7.根据权利要求1所述的一种低压工件的氦质谱泄漏检测装置，其特征在于：所述氦质谱检测仪(4)的顶端还设有三号气管(401)，三号气管(401)的另一端固定连通至密封壳体内壁，氦质谱检测仪(4)电连接至控制面板。