[实用新型]一种半导体裸片测试探针设备

说明书

本实用新型属于探针设备相关技术领域，具体涉及一种半导体裸片测试探针设备，包括设备本体，所述设备本体的左侧栓接有安装座，所述安装座的内腔活动连接有活动框，所述活动框的内腔活动连接有探针本体，所述活动框的内腔设置有卡接机构。本实用新型通过导向槽、卡块、限位槽、卡槽、固定盒、活动杆、第一弹簧和限位孔的配合，便于使用者对卡块进行限位，方便对探针本体进行固定，防止探针本体发生晃动脱落，提高了探针本体的稳定性，避免探针松动掉落频繁，造成使用者重复安装探针浪费时间，不利于测试的进行，降低半导体裸片测试的效率，解决了传统半导体裸片测试探针设备对探针固定效果差的问题。

技术领域

本实用新型属于探针设备相关技术领域，具体涉及一种半导体裸片测试探针设备。

背景技术

探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试，是将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的，探针卡应用在IC尚未封装前，针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品、再进行之后的封装工程。

半导体裸片生产车间，需要对半导体裸片进行测试，在封装前进行芯片测试，发现有不良品存在晶圆当中，即进行标记，直到后段封装制程前将这些标记的不良品舍弃，可省下不必要的封装成本，保障半导体裸片的质量，在对半导体进行测试时需要使用探针将半导体裸片与检测设备进行连接，传统半导体裸片测试探针设备的探针固定效果差，容易出现探针掉落，需要重新安装，浪费时间，降低半导体裸片测试的效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体裸片测试探针设备，以解决上述背景技术中提出的传统半导体裸片测试探针设备对探针固定效果差的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种半导体裸片测试探针设备，包括设备本体，所述设备本体的左侧栓接有安装座，所述安装座的内腔活动连接有活动框，所述活动框的内腔活动连接有探针本体，所述活动框的内腔设置有卡接机构。

优选的，所述卡接机构包括导向槽、卡块、限位槽、卡槽、固定盒、活动杆、第一弹簧和限位孔，所述活动框内腔的顶部和底部均开设有导向槽，所述导向槽的内腔滑动连接有卡块，所述卡块相向的一侧与探针本体的顶部和底部栓接，所述导向槽内腔正面和背面的右侧均开设有限位槽，所述限位槽的右侧开设有配合卡块使用的卡槽，所述活动框左侧的正面和背面均嵌设有固定盒，所述固定盒两侧的中心处均开设有通孔，且通孔的内腔滑动连接有活动杆，所述活动杆的表面栓接有活动板，所述活动杆的表面缠绕有第一弹簧，所述第一弹簧的左侧与固定盒内腔的左侧栓接，所述第一弹簧的右侧与活动板的左侧栓接，所述卡块的左侧开设有配合活动杆使用的限位孔。

优选的，所述安装座内腔右侧的四周均栓接有第二弹簧，所述第二弹簧的左侧与活动框的右侧栓接。

优选的，所述安装座内腔的顶部和底部均开设有第一滑槽，所述第一滑槽的内腔从左至右均依次滑动连接有第一滑块，所述第一滑块相向的一侧贯穿第一滑槽并与活动框的顶部和底部栓接。

优选的，所述活动框内腔右侧的顶部和底部均栓接有第三弹簧，所述第三弹簧的左侧栓接有移动板，所述移动板左侧的中心处栓接有凸块，且凸块的左侧与探针本体的右侧活动连接。

优选的，所述活动框内腔顶部和底部的右侧均开设有第二滑槽，所述第二滑槽的内腔滑动连接有第二滑块，所述第二滑块相向的一侧贯穿第二滑槽并与移动板的顶部和底部栓接。

优选的，所述活动杆的左侧栓接有连接件，所述连接件左侧的中心处开设有配合探针本体使用的通槽。

本实用新型的有益效果是：